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文檔簡介
1、分子/增壓泵是最近實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的新型分子泵，它采用國際首創(chuàng)的專利結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)行穩(wěn)定，兼容中高真空，具有廣闊的應(yīng)用前景。 本文在充分討論分子/增壓泵抽氣原理的基礎(chǔ)上，介紹了它的結(jié)構(gòu)和性能，并對其主要性能指標(biāo)進(jìn)行了測試。測試結(jié)果表明，分子/增壓泵在中高真空具有強(qiáng)勁抽速，并可以獲得清潔真空。鑒于分子/增壓泵已成功應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域并取得顯著效果，本文深入探討和研究了分子/增壓泵在磁控濺射離子鍍膜機(jī)和大型連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線中的應(yīng)用，為其
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