O-,2-中α型射頻放電的理論研究.pdf

1、在氧碘激光器及氧氣放電等離子體的研究領(lǐng)域，射頻放電已得到越來越多的關(guān)注和應(yīng)用。與其它放電方式相比，它沒有腐蝕性，無污染，本身有著很高的穩(wěn)定性和均勻性。雖然研究人員在理論與試驗兩方面都取得了不少的進(jìn)展，但就目前來講，對它的研究較多的受制于難以提高氧碘激光器的生成物即單重氧的產(chǎn)率，因此必須考慮進(jìn)行改進(jìn)。
　　 本文側(cè)重于氧氣中α型射頻放電的理論研究，是因為放電中能量消耗較低，激發(fā)效率較高。文章說明了氧氣放電中采用射頻方式的優(yōu)點；從理

2、論上分析了激光器所用的射頻電源系統(tǒng)，分三個核心部分設(shè)計了射頻源，對負(fù)載以及連接二者的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)也都進(jìn)行了詳細(xì)的論述與計算，對設(shè)計的激光器射頻電源和氣體負(fù)載連接進(jìn)行了放電驗證的實驗，并與連接直流電源作了對比，前者效果明顯得多；結(jié)合容性射頻放電的基本特性，對采用平板結(jié)構(gòu)的激光器氧氣射頻放電建立了理論模型，通過數(shù)值方法求解后，分純氧氣、氧氣和氬氣的混合氣體、氧氣和氦氣的混合氣體三種情形討論與單重氧產(chǎn)率密切相關(guān)的放電等離子體特性，得到放電區(qū)域