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1、金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料一直是氣敏傳感器研究的熱點(diǎn)。目前,氣體傳感器可大致分為SnO2系、ZnO系、WO3系、Fe2O3系及近年來(lái)發(fā)現(xiàn)的具有特定結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物等,對(duì)鎘系氣敏材料的研究較少,且主要以復(fù)合氧化物為主。CdS是典型的Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體,具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換特性和催化特性。CdS納米微粒在光、電、磁、催化等方面有巨大的應(yīng)用潛能。在傳感器領(lǐng)域中CdS光敏傳感器研究較多,國(guó)外有少數(shù)關(guān)于CdS氣敏性能的報(bào)道,但其中大多是用于SO2或
2、O2的檢測(cè),鮮見(jiàn)其酒敏性的報(bào)道。AB2O4尖晶石結(jié)構(gòu)材料也是一種很重要的復(fù)合氧化物氣敏材料。因此本論文主要合成硫化鎘以及鎘的尖晶石型復(fù)合氧化物,并研究了它們的氣敏性質(zhì)。 本工作分別以CdCl2和Cd(NO3)2為原料用配位沉淀法和均相沉淀法制備出納米CdS,以CdCl2為原料時(shí),產(chǎn)物均為六方相;以Cd(NO3)2為原料時(shí),產(chǎn)物均為立方相,但在熱處理溫度為500℃時(shí)已有部分相變。制備的CdS樣品對(duì)乙醇都有較高的靈敏度和選擇性,以C
3、dCl2為原料得到的樣品,靈敏度隨熱處理溫度升高而降低,是樣品粒徑變大的緣故;以Cd(NO3)2為原料得到的樣品,靈敏度隨著熱處理溫度上升而升高,可能是因?yàn)闃悠吩谳^高溫度發(fā)生了部分相變。為了進(jìn)一步提高CdS元件的性能,采用配位沉淀法制備了納米CdZnS,焙燒溫度為600℃時(shí)所得材料在175℃的工作溫度下對(duì)乙醇有很高的靈敏度,甚至對(duì)5ppm的乙醇靈敏度也可達(dá)到137,同時(shí)CdZnS(600℃)元件對(duì)乙醇的選擇性和穩(wěn)定性也相當(dāng)好。CdZnS
4、(600℃)元件的靈敏度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于其他兩個(gè)元件,原因可能是CdZnS(600℃)中S的含量較低,而CdS/ZnS(400℃)和CdS/ZnS(500℃)樣品中的S含量較高且基本相同,導(dǎo)致這兩個(gè)元件的靈敏度基本相同;或者是因?yàn)镃dS/ZnS(400℃)和CdS/ZnS(500℃)只是形成了混合物,沒(méi)有發(fā)生復(fù)合,CdZnS(600℃)則是CdS和ZnS復(fù)合后的產(chǎn)物,是結(jié)構(gòu)上的差異對(duì)元件的靈敏度造成了較大的影響。 采用檸檬酸溶膠-凝膠法
5、制備出尖晶石結(jié)構(gòu)CdM2O4(M=Fe,In),并利用XRD對(duì)產(chǎn)品的物相進(jìn)行了分析,結(jié)合Scherrer公式對(duì)晶粒的原始尺寸進(jìn)行計(jì)算;用TEM對(duì)粉體晶粒的粒徑和形貌進(jìn)行了觀察;將產(chǎn)物粉體制成氣敏元件,用靜態(tài)配氣法在氣敏測(cè)試儀上對(duì)其氣敏性能進(jìn)行研究。通過(guò)對(duì)上述兩種材料的研究分析,發(fā)現(xiàn)CdFe2O4對(duì)乙醇敏感,CdIn2O4對(duì)氯氣敏感。CdFe2O4傳感器,它在250℃時(shí)對(duì)100ppm的乙醇靈敏度為55,有較高的靈敏度和相對(duì)較低的工作溫度,
6、響應(yīng)-恢復(fù)較快,能夠達(dá)到酒敏元件的要求。CdIn2O4元件對(duì)Cl2有很高的靈敏度和選擇性。600-900℃處理的CdIn2O4元件對(duì)體積分?jǐn)?shù)為10ppm的Cl2的最大靈敏度分別是53000,3298,3274,18.7;它們的響應(yīng)時(shí)間分別為28s,15s,6s,53s;恢復(fù)時(shí)間分別為935s,433s,632s,318s。綜合來(lái)看,CdIn2O4(700℃)andCdIn2O4(800℃)元件有較高的靈敏度且響應(yīng)-恢復(fù)較快。檸檬酸溶膠-
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