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文檔簡介
1、場致發(fā)射顯示板繼承了傳統(tǒng) CRT 的優(yōu)良顯示性能，是一種具有廣闊應用前景的平板顯示器件。在平板顯示領(lǐng)域，特別是軍事領(lǐng)域，F(xiàn)ED有其固有的許多優(yōu)勢。但是與 LCD 和 PDP 相比較，F(xiàn)ED還有一些問題需要解決，包括器件壽命、隔離體、亮度、電子發(fā)射均勻性、調(diào)制電壓范圍、驅(qū)動方法以及低成本的器件制備技術(shù)等。 本文的研究內(nèi)容主要包括基于Hopping效應，設(shè)計出一種新型三極結(jié)構(gòu)FED；主要采用厚膜工藝制備這種新型結(jié)構(gòu)FED；用光刻工藝
2、制備柵極通道孔；新型結(jié)構(gòu)FED的制備流程；封裝過程中遇到的問題和解決辦法。 本文提出了采用HOP Spacer作為 CNT-FED 器件的調(diào)制極，并設(shè)計了相應的結(jié)構(gòu)。理論分析和實驗結(jié)果表明方案具有相當?shù)目尚行?，新型結(jié)構(gòu)FED能夠明顯降低厚膜 CNT-FED 器件的調(diào)制電壓范圍。 為了以低成本研制出新型結(jié)構(gòu)FED，相應的厚膜制備工藝也被詳細提出，主要是采用絲網(wǎng)印刷工藝制備前后基板和新型柵極結(jié)構(gòu)中的電子發(fā)射材料、銀電極、熒光
3、粉和絕緣介質(zhì)，并獲得了適用于制備新型結(jié)構(gòu)FED的工藝參數(shù)。由于噴砂法制備的 HOP Spacer 機械性能較差，本文采用光刻技術(shù)制備柵極通道孔并獲得成功，這使得在柵極基板上制備銀電極和介質(zhì)層成為可能。 新型結(jié)構(gòu) FED 的前處理還包括：對CNT進行了一些處理以提高其電子發(fā)射性能；利用銀漿的滲透提高柵極的調(diào)制能力；用電子束蒸發(fā)法在柵極表面和通道孔中制備MgO；選用合適的材料作為隔離體。由于新型結(jié)構(gòu)FED中柵極基板易在高溫環(huán)境下破裂
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