高溫低氣壓動(dòng)態(tài)壓力測試研究方法及實(shí)現(xiàn).pdf

1、本文對一種高溫壓力傳感器及測試電路進(jìn)行了介紹，該壓力傳感器以MEMS硅壓力敏感元件為核心元件，在其外部加特殊隔熱材料和吸熱材料，通過采用一系列的密封等工藝制成。這種傳感器克服了普通壓力傳感器不耐高溫的缺點(diǎn)和特制高溫壓力傳感器價(jià)格高的缺點(diǎn)。工藝簡單、制作周期短、耐高溫、特別適合特殊環(huán)境使用。本文的主要內(nèi)容包括： (1)詳細(xì)介紹了高溫壓力傳感器整體的設(shè)計(jì)思路，對所設(shè)及的理論原理和計(jì)算有較為詳細(xì)的說明。 (2)對傳感器的熱學(xué)計(jì)

2、算進(jìn)行了深入的分析，詳細(xì)介紹了計(jì)算所依據(jù)的理論和相關(guān)參數(shù)的選取，并且通過熱學(xué)仿真和實(shí)驗(yàn)對理論進(jìn)行了驗(yàn)證，找到了最合適的方案。 (3)在理論分析的基礎(chǔ)上，充分介紹了傳感器的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)標(biāo)定的實(shí)驗(yàn)方法及實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 (4)為保證傳感器在實(shí)際工作環(huán)境中正常工作，對傳感器整體結(jié)構(gòu)做振動(dòng)試驗(yàn)。 (5)對傳感器的相應(yīng)測試電路做了完整的介紹。對信號調(diào)理、采集電路和相關(guān)軟件都進(jìn)行了介紹，并給出了采集結(jié)果。 最后對全文做了總結(jié)