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文檔簡介
1、平行平板的測量在光學檢測和光學加工中有很重要的應用，但是在平行平板的測量中，由于三表面干涉的干涉條紋重疊，運用傳統(tǒng)的移相干涉術(shù)測量存在很大誤差。因而本課題的研究對于平行平板的面形及平行度測量有重要意義。文章研究了波長移相干涉測量的原理，從時域和空域兩方面研究了傅立葉變換求解平行平板面形、平行度等參數(shù)的方法。搭建了波長調(diào)諧干涉儀測量平行平板的實驗系統(tǒng)，采集了波長移相多幅干涉圖。編寫程序?qū)Ω缮鎴D進行時域和空域傅立葉變換得到干涉相位，通過計算
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