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1、光濾波器是IP/WDM光網(wǎng)絡(luò)中節(jié)點和終端設(shè)備的關(guān)鍵器件?；谄矫娌▽?dǎo)諧振腔的光濾波器具有結(jié)構(gòu)簡單、性能好、集成性高、易于構(gòu)成其他光器件等優(yōu)點而備受關(guān)注。本文主要進行半導(dǎo)體多量子阱平面波導(dǎo)諧振腔濾波器的研究，開展了四端口器件理論、數(shù)值分析方法、濾波器優(yōu)化設(shè)計、制作和測試等系列工作。 論文首先分別給出三種材料——InP基：InGaAsP-MQW、GaAs基InGaAs/InAlAs-MQW和GaAs/AlGaAs的結(jié)構(gòu)，深入分析了三
2、種材料構(gòu)成的脊波導(dǎo)中的光波模式和傳輸特性，獲得了單模工作條件和參數(shù)，為設(shè)計諧振腔濾波器奠定了基礎(chǔ)。然后采用時域有限差分(FDTD)法，基于InP/InGaAsP-MQW單模脊波導(dǎo)，優(yōu)化設(shè)計了矩形和跑道形并聯(lián)諧振腔濾波器：優(yōu)化設(shè)計了GaAs基InGaAs-InAlAs MQW環(huán)形諧振腔光濾波器；獲得單諧振腔和諧振腔級聯(lián)的仿真結(jié)果，包括光場分布，濾波器的光譜特性等；對所得結(jié)果進行了討論，證實了所提方案的可行性。最后，基于國內(nèi)先進的生產(chǎn)線，研
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