Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體多量子阱平面波導(dǎo)諧振腔濾波器的研究.pdf

1、光濾波器是IP/WDM光網(wǎng)絡(luò)中節(jié)點(diǎn)和終端設(shè)備的關(guān)鍵器件?；谄矫娌▽?dǎo)諧振腔的光濾波器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能好、集成性高、易于構(gòu)成其他光器件等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注。本文主要進(jìn)行半導(dǎo)體多量子阱平面波導(dǎo)諧振腔濾波器的研究，開(kāi)展了四端口器件理論、數(shù)值分析方法、濾波器優(yōu)化設(shè)計(jì)、制作和測(cè)試等系列工作。 論文首先分別給出三種材料——InP基：InGaAsP-MQW、GaAs基InGaAs/InAlAs-MQW和GaAs/AlGaAs的結(jié)構(gòu)，深入分析了三

2、種材料構(gòu)成的脊波導(dǎo)中的光波模式和傳輸特性，獲得了單模工作條件和參數(shù)，為設(shè)計(jì)諧振腔濾波器奠定了基礎(chǔ)。然后采用時(shí)域有限差分(FDTD)法，基于InP/InGaAsP-MQW單模脊波導(dǎo)，優(yōu)化設(shè)計(jì)了矩形和跑道形并聯(lián)諧振腔濾波器：優(yōu)化設(shè)計(jì)了GaAs基InGaAs-InAlAs MQW環(huán)形諧振腔光濾波器；獲得單諧振腔和諧振腔級(jí)聯(lián)的仿真結(jié)果，包括光場(chǎng)分布，濾波器的光譜特性等；對(duì)所得結(jié)果進(jìn)行了討論，證實(shí)了所提方案的可行性。最后，基于國(guó)內(nèi)先進(jìn)的生產(chǎn)線，研