基于UV-LIGA技術(shù)的毛細管電泳芯片設計與制備.pdf

1、目前，毛細管電泳芯片已突破其發(fā)展初期在加工技術(shù)和基本流控技術(shù)上的主要瓶頸，正在進入一個深化基礎研究，擴大應用領域及深度產(chǎn)業(yè)化的轉(zhuǎn)折時期。這就需要開發(fā)出一種實用的芯片加工工藝，以適應其產(chǎn)業(yè)化發(fā)展要求，進一步降低加工成本，拓寬其應用領域。UV-LIGA技術(shù)以其加工精度高，適宜批量化生產(chǎn)，加工成本低等顯著優(yōu)點為毛細管電泳芯片的發(fā)展提供了更大的空間。 本論文的研究工作主要包括微電鑄系統(tǒng)的構(gòu)建、基于UV-LIGA技術(shù)的毛細管電泳芯片設計與

2、制備、電鑄液分析以及毛細管電泳芯片的生物學實驗驗證等四個方面的內(nèi)容。在現(xiàn)有條件下，我們設計并搭建了一整套微電鑄系統(tǒng)，優(yōu)化了微電鑄工藝參數(shù)，并利用該系統(tǒng)成功地完成了毛細管電泳芯片的設計和制備。針對目前硅基芯模微電鑄脫模較難的問題，我們創(chuàng)造性地提出了一種低熔點金屬層輔助脫模工藝，實驗證明該工藝能有效地提高脫模效率，簡化脫模工序，還能起到保護電鑄微結(jié)構(gòu)，提高成品率的作用。 在電鑄液分析中，我們首次將分光光度法應用于氨基磺酸鹽型鎳電鑄液