MEMS微型可編程光柵技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、基于光柵技術(shù)的光譜分析在物理、化學(xué)、天文、生物、冶金學(xué)及其他分析領(lǐng)域起著重要的作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對光柵技術(shù)提出了更高的要求，對新型光柵的研究也受到更加廣泛的重視。MEMS技術(shù)的出現(xiàn)與發(fā)展提供了能根據(jù)實際情況實時改變結(jié)構(gòu)參數(shù)的光柵——MEMS微型可編程光柵。這種光柵通過靜電驅(qū)動的方式實現(xiàn)對光柵的結(jié)構(gòu)單元——微變形梁的編程控制。MEMS微型可編程光柵不僅擴展了光柵在傳統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)揮巨大作用，同時促進其在光通訊等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。因此，對M

2、EMS微型可編程光柵的研究具有重要的研究意義。 本文針對MEMS微型可編程光柵的衍射特性、機械特性等進行了理論分析和仿真，并對它的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計、加工工藝等一系列關(guān)鍵技術(shù)進行了研究。論文的主要研究內(nèi)容包括： 1.研究MEMS微型可編程光柵的衍射特性，對光柵衍射單元微梁數(shù)和各個微梁的高度對衍射特性的影響進行分析，并推導(dǎo)出它的衍射公式。 2.研究作為MEMS微型可編程光柵的結(jié)構(gòu)單元的微變形梁的Pull-in現(xiàn)象，并設(shè)計

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