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文檔簡介
1、位置檢測(cè)是測(cè)量領(lǐng)域的重要內(nèi)容之一,而微結(jié)構(gòu)的三維位置檢測(cè)是目前光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域的熱門課題之一。
在產(chǎn)品質(zhì)量的檢測(cè)中,要求對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行高精度檢測(cè)和實(shí)時(shí)控制。如果僅僅依靠人工進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè),已無法達(dá)到高精度和高效率的檢測(cè)目的。因此提出了基于圖像技術(shù)的光學(xué)檢測(cè)方法。光學(xué)圖像檢測(cè)系統(tǒng)能克服人工檢測(cè)帶來的不利因素,提高檢測(cè)精度,降低了檢測(cè)成本。
本文闡述了顯像管陰極絲的位置檢測(cè)方法的研究。主要內(nèi)容包括總體方案、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、圖像處
2、理及測(cè)量結(jié)果的誤差分析。出于對(duì)裝置通用性的考慮。系統(tǒng)中的光學(xué)系統(tǒng)既可以進(jìn)行低倍率觀測(cè)也可以進(jìn)行高倍率觀測(cè),以滿足不同尺寸的零件的使用,既可以接目鏡直接進(jìn)行觀測(cè),也可以接CCD攝像頭攝取圖像。利用CCD進(jìn)行測(cè)量是一種非常有效的非接觸測(cè)量手段,這種方法被廣泛應(yīng)用于工業(yè)零件的精密定位檢測(cè)中。為了彌補(bǔ)普通光學(xué)顯微鏡照明系統(tǒng)的不足并針對(duì)一般三維微結(jié)構(gòu)的顯微照明,提出了一個(gè)可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)的光纖照明系統(tǒng)??梢詫?shí)現(xiàn)入射光的調(diào)節(jié)(包括角度和亮度),使成像
3、質(zhì)量大大提高,不僅可以清晰觀察目標(biāo)對(duì)象的表面結(jié)構(gòu),還能得到立體感較強(qiáng)的三維圖像。然后將采集到的圖像送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行圖像處理。通過MATLAB圖像處理工具箱中的程序?qū)D像進(jìn)行濾波、灰度化和圖像分割等圖像處理,最終計(jì)算出位置量信息。最后對(duì)系統(tǒng)的光學(xué)機(jī)構(gòu)和機(jī)械結(jié)構(gòu)的誤差進(jìn)行分析。
這種基于圖像技術(shù)的光學(xué)檢測(cè)方法是一種高性能測(cè)量技術(shù),它是以光學(xué)技術(shù)為基礎(chǔ),將光電子學(xué)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像處理技術(shù)等多種現(xiàn)代化科學(xué)技術(shù)融合為一體,構(gòu)成光、機(jī)、電
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