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文檔簡介
1、光熱偏轉(zhuǎn)檢測技術(shù)(PDT)是近幾年發(fā)展起來的熱波探測技術(shù),它是一種非接觸式的靈敏檢測技術(shù),可以在惡劣的環(huán)境F進行在線檢測,能達到10<'-11>m/平方根Hz(表面位移/平方根檢測帶寬)的位移檢測靈敏度,具有較高的分辨率.由于其獨特的優(yōu)勢,光熱偏轉(zhuǎn)檢測方法被廣泛地應(yīng)用于生產(chǎn)和工程中的各個領(lǐng)域.當(dāng)前,隨著材料技術(shù)的深入研究和大規(guī)模集成電路的廣泛應(yīng)用,材料的熱學(xué)性質(zhì)直接關(guān)系到材料在半導(dǎo)體器件、航空航天等高科技領(lǐng)域的應(yīng)用,而材料的熱物理性質(zhì)與
2、其制備過程等各種因素密切聯(lián)系,因此,材料熱物理性質(zhì)及其測量方法的研究倍受關(guān)注. 本文首先介紹了光熱偏轉(zhuǎn)方法的基本原理和特點,說明了光熱偏轉(zhuǎn)方法在無損檢測領(lǐng)域有著許多突出的優(yōu)點和重要作用.然后描述了光熱偏轉(zhuǎn)方法的理論模型--三層一維介質(zhì)模型,著重描述了光熱偏轉(zhuǎn)信號的物理意義.根據(jù)光熱偏轉(zhuǎn)檢測理論,設(shè)計了熱擴散率光熱偏轉(zhuǎn)自動化檢測系統(tǒng),實現(xiàn)了數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理的自動化;設(shè)計了光熱偏轉(zhuǎn)成像系統(tǒng),實現(xiàn)了樣品表面熱波成像的自動測量.
3、 利用該系統(tǒng)測量了SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>(SrBT)和Sr<,2-x>Sm<,x>FeMoO<,6>材料的熱擴散率.本論文研究發(fā)現(xiàn),適量鑭系鑭、鈰、釹三種稀士元素的摻雜,有助于抑制SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>材料中的氧空位,提高材料的a向擇優(yōu)取向度,有助于改善材料的熱擴散率,提高材料的性能等.SrBT摻雜的最佳配方分別為SrBi<,3.8>La<,0.2>Ti<,4>O<,15>、SrBi<,3.8>Ce
4、<,0.2>Ti<,4>O<,15>、SrBi<,3.8>Nd<,0.2>Ti<,4>O<,15>.適量Sm元素的摻雜,有助于改善Sr<,2-x>Sm<,x>FeMoO<,6>材料的熱擴散率,其最佳配方分別為Sr<,1.95>Sm<,0.05>FeMoO<,6>、Sr<,1.87>Sm<,0.13>FeMoO<,6>. 光熱偏轉(zhuǎn)成像系統(tǒng)能夠快速繪制樣品表面的熱波圖像,為材料熱學(xué)性能的研究提供了一個重要手段.本文通過實驗繪制了直線
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