多層布線用黑色氧化鋁基片制備技術(shù)研究.pdf

1、本研究的目的是采用流延工藝制備用于晶體振蕩器基板的黑色氧化鋁。本文綜述了國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，著重就黑色氧化鋁流延工藝參數(shù)的控制方面，研究氧化鋁流延漿料、有機配方，燒結(jié)工藝等對黑色氧化鋁基片性能的影響，獲得最佳流延配方，流延基片綜合性能良好。另外對于其多層共燒工藝進行了一定研究。
　　 流延成型工藝參數(shù)的確定。乙醇和丁酮的非共沸混合液作溶劑，選擇適合溶劑和特定氧化鋁粉體的分散劑，并研究了氧化鋁的固含量、分散劑和粘結(jié)劑的百分含量、增塑劑

2、與粘結(jié)劑的比值（R）對于漿料穩(wěn)定性的影響，以及氧化鋁固含量、R值、分散劑和粘結(jié)劑的百分含量對于素坯性能的影響。
　　 在固含量在50%，分散劑在2～4.5%，粘結(jié)劑在31.9%，R=0.4的條件下得到自然干燥，表面光滑有質(zhì)感，有一定的強度和韌性的素坯膜。將所制得的素坯在1320℃下采用輕壓燒結(jié)，得到瓷體平整無卷曲，燒結(jié)密度3.5g/cm3左右，收縮率在15～17%之間,電阻率在108-9量級,B2O3含量為2%時，介電常數(shù)為13