50-110nm高反射率多層膜的設(shè)計、制備與檢測.pdf_第1頁
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1、申請同濟大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文501lOnm高反射率多層膜的設(shè)計、制備與檢測(國家自然科學(xué)基金項目編號：10435050)培養(yǎng)單位：一級學(xué)科：二級學(xué)科：研究生：指導(dǎo)教師：理學(xué)院物理光學(xué)工程李存霞王吉山教授二oo七年二月AbstractABSTRACTTheⅥⅣandEUVspectralregionbelow110nmhasbecomingainterestingresearchareaduetoapplicationsofdiffere

2、ntfields，such勰solarphysics，atmospherephysics，spacecommunicationandspaceweatherforecastHoweveritisdifficulttodesignthehighreflectivitymirrorinthisspectralregionThereasonisthereflectivityofsinglelayerandstandardmuldlayersC

3、annotmeettheapplicationdemandduetothehi曲radiationabsorptionofaIlmaterialsinthisspectralregionConsequentlyitisimportanttofindsuitablemethodto甜lancetheretentivityinthisspetrallegionIn2001，Larruquertprovidedanew“designmetho

4、dofsubquarterwavemultilayerswhichiseffectiveto豇lhancethereflectivityatcertainwavelengthBynowtheresearchofbroadbandhi曲reflectivitymirrorshasnotbeenmadedeeplyThepaperattempttodesignandfabricatebroadbandmultilayersbythemeth

5、odofsub—quarterwavemultilayersThedesignmethodofsubquarterwavemultilayerswithenhancednormalreflectanceinthestrongabsorbingrange50110n／nhasbeenpresentedThemultilayersconsistedinthesuperpositionofafewlayersofstrongabsorbing

6、materialsTheopticalthicknessofeachlayerinthemultilayersislessthanquarterwavethicknessComparedtothestandardmultilayers。thismultilayerstructuremoresuitsto@n_hanoereflectanceofstrongabsorbingwavelengthrangeThellighreflectan

7、cemultilayersSi／W／Cowasdesignedatwavelengthof50螄byusingthismethodandthenoptimizedbasedonthisinitialconditionbyusingLevenbergMarquartalgorithminawidewavelengthrange50110liraThecalculatedresultssuggestthatthereflectanceoft

8、hemultilayeris豳high∞45％ThesampleWasfabricatedbyusingahighvacuumdirectcurrentmagnetronsputteringThenthemultilayerWascharacterizedbya10wangleXraydiffractionTheresultssuggestedthatthefabricatedmultilayerstructuremeetsthedes

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