甲醛氣敏元件研制及靈敏度特性研究.pdf

1、本文介紹了關于甲醛氣敏元件的制備及其靈敏度特性提高方面的研究，應用化學共沉淀法制備了二氧化錫(SnO2)納米材料，應用檸檬酸鹽法制備了鐵酸鍶鑭(LaxSr1-xFeO3)以及氧化鎳(NiO)納米材料，并對不同的敏感材料的氣敏性能進行了比較。通過實驗結(jié)果得出結(jié)論，SnO2對甲醛的氣敏性能最好，在相同條件下的靈敏度最高。應用制備的納米敏感材料制作了厚膜型氣敏元件以及旁熱式氣敏元件，對兩種結(jié)構(gòu)進行比較得出結(jié)論，在現(xiàn)有的工藝條件下，旁熱式結(jié)構(gòu)元

2、件的性能要優(yōu)于厚膜型元件的性能。 對制作的旁熱式甲醛氣敏元件的靈敏度特性等性能進行了測試，結(jié)果表明，SnO2甲醛氣敏元件靈敏度最高時的加熱功率為0.4W；元件的響應時間約為25s，恢復時間約為40s；隨著氣體濃度的增加，元件的靈敏度逐漸增加，在高濃度階段趨于飽和。同時測試了乙醇氣體以及濕度對制作的旁熱式甲醛氣敏元件的干擾。發(fā)現(xiàn)在高濃度段，相同氣體濃度的條件下，元件對乙醇氣體的靈敏度要高于對甲醛氣體的靈敏度，但是在低濃度段，出現(xiàn)了

3、元件對甲醛氣體的靈敏度要高于元件對乙醇氣體的靈敏度的趨勢。濕度的存在對制作的元件的影響很小。 組建了一套氣敏元件自動測試系統(tǒng)，利用D/A卡實現(xiàn)對質(zhì)量流量控制器的控制，該系統(tǒng)能夠自動控制待測試氣體的流量和濃度。在通氣過程中，保證總體的氣體流量不變，將流量對氣敏元件的影響排除在外。同時，應用A/D卡使該系統(tǒng)能夠自動采集氣敏元件的動態(tài)響應，并繪制出動態(tài)響應曲線。 針對半導體氧化物氣敏元件對甲醛氣體以及乙醇氣體的選擇性不好的特點