基于光柵和CCD的數(shù)字式立式光學(xué)計(jì)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文在對立式光學(xué)計(jì)的發(fā)展情況進(jìn)行認(rèn)真分析總結(jié)的基礎(chǔ)上,提出了改進(jìn)方案,采用單光柵鏡像莫爾條紋技術(shù)和CCD細(xì)分技術(shù)來提高儀器的分辨率和精度。 本文對立式光學(xué)計(jì)的測量原理進(jìn)行了分析,并認(rèn)真研究了其主要部件光學(xué)測量系統(tǒng)的光學(xué)結(jié)構(gòu),從而對傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn)性設(shè)計(jì)。首先系統(tǒng)利用光學(xué)杠桿原理對微小尺寸進(jìn)行初級放大,即將微小尺寸變化轉(zhuǎn)化為光柵像的移動(dòng),從而獲得放大比近百倍的莫爾條紋信號(hào),為后續(xù)的計(jì)數(shù)與細(xì)分電路的處理提供了方便。其次,采用C

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