深紫外光照射延緩光罩結(jié)晶生長(zhǎng)的研究.pdf

1、本文研究了在光刻制程過(guò)程中對(duì)于光罩結(jié)晶的控制優(yōu)化問(wèn)題,主要針對(duì)光罩使用過(guò)程中不可避免且很?chē)?yán)重的結(jié)晶問(wèn)題進(jìn)行了研究和優(yōu)化,找到了解決方法并成功地實(shí)現(xiàn)了有效延緩。具體內(nèi)容如下:
　　 1.光刻工藝中光罩結(jié)晶的問(wèn)題
　　 光罩的結(jié)晶缺陷在光刻制程中是一個(gè)不可避免且很?chē)?yán)重的問(wèn)題,結(jié)晶缺陷會(huì)影響光罩的穿透率從而造成晶片上重復(fù)性的缺陷,會(huì)使成品率大大降低。
　　 2.光罩結(jié)晶形成的原理及其負(fù)面影響
　　 產(chǎn)生結(jié)晶缺陷

2、的原理是酸根與氨根結(jié)合產(chǎn)生的鹽,通常結(jié)晶是在光罩使用2～5個(gè)月后產(chǎn)生,因?yàn)槠毓鈾C(jī)的光源對(duì)結(jié)晶的產(chǎn)生也起了催化劑的作用,尤其是光源波長(zhǎng)越短結(jié)晶產(chǎn)生越快。這時(shí)需要清洗這塊光罩,這不僅需要花費(fèi)大量的金錢(qián)(線寬比較小的光罩清洗3～5次后就會(huì)報(bào)廢,而且每清洗一塊光罩需要更換新的保護(hù)膜,又是一筆費(fèi)用),同時(shí)清洗過(guò)程所花費(fèi)的時(shí)間對(duì)生產(chǎn)部的生產(chǎn)也是一個(gè)不可忽略的損失。
　　 3.光罩結(jié)晶的控制
　　 基于短波長(zhǎng)對(duì)結(jié)晶的生長(zhǎng)起到了催化的作