離子轟擊對銅-鎳擴(kuò)散的影響.pdf

1、等離子轟擊熱擴(kuò)滲技術(shù)由于效率高、無污染等原因在工業(yè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，但是目前對于離子轟擊能夠促進(jìn)擴(kuò)散的原因還沒有統(tǒng)一的理論，理論的欠缺限制了工藝的發(fā)展。本論文采用磁控濺射的方法在銅基體上制備了鍍鎳層，確定了最佳退火溫度，并在此溫度下進(jìn)行了不同條件的擴(kuò)散退火處理，對有無離子轟擊條件下鎳元素的擴(kuò)散的變化情況進(jìn)行了研究，探討非線性點(diǎn)陣效應(yīng)對擴(kuò)散的影響。
　　利用掃描電子顯微鏡對退火前后的鍍層形貌進(jìn)行了觀察，用小掠射角X-射線衍射技術(shù)

2、分析了鍍層的結(jié)構(gòu)，利用電子探針測得了鎳元素的濃度分布曲線，并用玻爾茲曼-俁野方法計(jì)算了銅-鎳的互擴(kuò)散系數(shù)，通過X射線衍射技術(shù)分析了經(jīng)過離子轟擊后基體位錯(cuò)密度隨深度的變化情況,利用透射電子顯微鏡觀察了離子轟擊后基體表面位錯(cuò)的變化情況。
　　研究結(jié)果發(fā)現(xiàn)，采用磁控濺射可以得到均勻、致密的鍍層，晶粒呈柱狀生長；經(jīng)過400℃退火后，無論是否有離子轟擊，互擴(kuò)散系數(shù)均隨著鎳元素濃度的增大而增大，但在離子轟擊條件下，鎳元素的擴(kuò)散速度大于沒有離子