基于旋光效應(yīng)的微位移檢測(cè)研究.pdf

1、位移傳感器在科學(xué)與工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，是重要的測(cè)量?jī)x器，這是因?yàn)槲灰剖菈毫?、?yīng)力、速度、加速度、溫度、流量等各種物理量的測(cè)量基礎(chǔ)。位移檢測(cè)在許多部門(mén)都有相當(dāng)大的需求，如自動(dòng)裝置、工廠控制、機(jī)床、交通控制、土木工程等各個(gè)行業(yè)。 位移檢測(cè)的好壞往往直接影響著系統(tǒng)的控制效果。高精度的微位移測(cè)量系統(tǒng)是機(jī)械、儀表、工具、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ)，也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進(jìn)步的制約因素。在這些方面，光柵尺及激光干涉計(jì)量等測(cè)量方

2、法以其能夠精確到波長(zhǎng)量級(jí)的優(yōu)勢(shì)成為微位移測(cè)量系統(tǒng)的主要代表。而由于以上兩種測(cè)量方法存在著系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、信號(hào)處理繁瑣以及成本高等缺點(diǎn)，本文提出了一種基于旋光效應(yīng)的微位移檢測(cè)方法，利用這種檢測(cè)方法設(shè)計(jì)的檢測(cè)系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)。 本文基于石英晶體旋光效應(yīng)分析和研究了線偏振光通過(guò)晶體后偏振態(tài)的變化情況，并利用晶體位移與光程的關(guān)系，找到了旋光角度與位移的線性關(guān)系，進(jìn)而提出一種全新的微位移檢測(cè)方法。本文利用瓊斯矩陣