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文檔簡介
1、隨著新材料的研制和開發(fā),對材料電阻率的測量顯得日益重要,目前國內(nèi)微電子工業(yè)中多采用直線陣列等間距四探針作為測量常溫下材料電阻率的方法,應(yīng)用四探針法測量電阻率已引起人們的重視。四探針測量系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡單操作方便,精確度高,對樣品的形狀無嚴(yán)格要求。恒流源是一種能向負(fù)載提供恒定電流的電路,它是四探針電阻率測試系統(tǒng)中的重要組成不分,可以說恒流源的性能在很大程度上決定了整個(gè)四探針測試系統(tǒng)的性能。 恒流源電路通常是指一個(gè)輸出電流大小與外
2、部影響無關(guān)的電子電路。實(shí)際上,當(dāng)該電路的外部條件在一定范圍內(nèi)變化時(shí),提供負(fù)載的電流基本保持不變。它已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料參數(shù)的測量儀器、教育、科研和實(shí)際生產(chǎn)之中。電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多,四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡單操作方便,精確度高,對樣品的形狀無嚴(yán)格要求,而作為四探針測試儀重要組成恒流源電路就顯得尤為重要。 本文從恒流源的有基本概念入手,對恒流源的應(yīng)用和表述作
3、了較為詳細(xì)的介紹和分析;然后介紹直流穩(wěn)壓電源的基本概念、基本構(gòu)成;接下來,對恒流源進(jìn)行了比較詳細(xì)的描述,其中對幾種恒流源電路進(jìn)行的分析;接著介紹了四探針測試儀和與自主設(shè)計(jì)的恒流源電路,該電路采用LM317三端可調(diào)式集成穩(wěn)壓器作為穩(wěn)壓部分的核心,由改進(jìn)型的晶體管恒流源電路作為恒流部分的核心,并使用了達(dá)林頓管TIP122進(jìn)行擴(kuò)流,然后對電路進(jìn)行了軟件模擬測試,達(dá)到規(guī)定的要求;最后,運(yùn)用Prote199SE軟件把電路制成印刷線路板,并對裝配好
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