微小行星輪減速器構(gòu)件微細電加工技術(shù)的研究.pdf

1、隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，微細加工技術(shù)成為現(xiàn)代制造技術(shù)的一個重要發(fā)展方向。其中微小零件的加工技術(shù)的研究有著重要的意義和廣闊的發(fā)展前景。微細電加工技術(shù)是實現(xiàn)微細加工行之有效的方法之一，以其獨特的加工方法及較高的性價比得到了迅速的發(fā)展，并在許多微型機械生產(chǎn)領(lǐng)域發(fā)揮了重要的作用。
　　微齒輪減速器是MEMS中一種重要的微機械傳動裝置，主要用于傳遞動力和運動，加大負(fù)載能力,具有極大的應(yīng)用和商業(yè)價值。微型行星齒輪傳動機構(gòu)傳動具有體積

2、小、重量輕、傳動比大、承載能力高、傳動效率高、工作平穩(wěn)等優(yōu)點,在MEMS中應(yīng)用前景廣泛，其相關(guān)構(gòu)件也是MEMS中微小零件中，極具代表性的。因此，對其設(shè)計制造的相關(guān)研究有著重要意義。微細電火花成型加工與微細電火花線切割加工在微細加工領(lǐng)域都有著其獨有的優(yōu)勢，但同時又存在著一定不足，受到一定限制。因此，本文中以微小行星輪減速器構(gòu)件的加工為對象，對微小構(gòu)件的微細電火花成型加工技術(shù)和微細線切割技術(shù)結(jié)合的微細電火花加工技術(shù)進行研究，加工出滿足MEM

3、S對零件的要求的微小復(fù)雜結(jié)構(gòu)的構(gòu)件，使其工藝技術(shù)合理化、實用化。
　　基于微齒輪和普通齒輪之間存在的區(qū)別，考慮兩者在尺寸、力學(xué)性能,加工方法和裝配方式方面的差異，設(shè)計一個微型行星輪減速器。為滿足微型齒輪傳動的要求,引入選用了Logix齒輪的新型齒輪齒形。研究表明，Logix齒輪不但在相同條件下各項強度均好于漸開線齒輪,而且可以設(shè)計成少齒數(shù)齒輪，易于實現(xiàn)產(chǎn)品的小型化,此外它還克服了圓弧齒輪的缺點，能制成直齒輪,適合進行電火花線切割加

4、工。根據(jù)Logix齒形的數(shù)學(xué)模型,應(yīng)用Matlab軟件進行計算生成Logix齒輪齒形,并進行相關(guān)校驗后,建立Logix齒輪的模型,完成Logixc齒輪的微型行星齒輪減速器模型,經(jīng)后處理生成微型行星齒輪減速器齒輪輪齒加工所需用數(shù)控程序。
　　最后，針對微型行星齒輪減速器各構(gòu)件加工的工藝進行研究,將MWEDM與MEDM中的分層銑削技術(shù)、微細孔加工技術(shù)和反拷加工技術(shù)相結(jié)合，加工出多種具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微型行星齒輪減速器構(gòu)件(包括帶軸中心齒輪