基于巨磁阻磁頭靜電防護的離子風機可靠性研究.pdf

1、在電腦硬盤制造業(yè)中，巨磁阻磁頭(GMR)內部的微小的感應元件(Sensor)對靜電極其敏感，因此靜電放電(ESD)防護是技術研究的最重要課題之一。離子風機系統(tǒng)是靜電放電(ESD)防護的一個關健部分，各種離子風機被廣泛使用于 GMR磁頭生產線。根據工作原理分類，離子風機有交流(AC)、直流(DC)和放射源式(Alpha)離子風機，各種離子風機的工作原理、性能指標和穩(wěn)定性各有不同，通過對不同類型離子風機可靠性及離子風機可靠性維護的研究，對巨

2、磁阻磁頭(GMR)生產的靜電放電(ESD)防護具有積極的意義。
　　本文從巨磁阻效應和巨磁阻磁頭的工作原理出發(fā)，介紹了巨磁阻磁頭的內部結構及其等效電路，并闡述其靜電放電失效機理，也進一步地做了模擬仿真測試。
　　接著，本文對離子風機的靜電防護技術進行了深入仔細地研究。通過對直流(DC)離子風機電極探針的損耗的研究，發(fā)現(xiàn)正負極發(fā)射電極的損耗不同。隨著時間的推移，直流(DC)離子風機的平衡電壓會漂移，為直流(DC)離子風機需要定

3、期檢測、調節(jié)及定期更換發(fā)射電極提供依據。通過對離子風機ESD特性的研究，確定在GMR磁頭生產中，離子風機的安全工作距離應為12inch(約30cm)。由于現(xiàn)有的離子風機種類多、價格相差大，根據工序的重要程度去選擇離子風機是有必要的。通過離子風機在GMR生產工序中的驗證，確定了GMR磁頭生產關健工序需要安裝Alpha離子風機的指導方針。
　　最后，提出了離子風機預防性維護的概念，通過預防性維護管理系統(tǒng)的實施，使維護更具有效性、可追溯