基于巨磁阻磁頭靜電防護(hù)的離子風(fēng)機(jī)可靠性研究.pdf

1、在電腦硬盤制造業(yè)中，巨磁阻磁頭(GMR)內(nèi)部的微小的感應(yīng)元件(Sensor)對(duì)靜電極其敏感，因此靜電放電(ESD)防護(hù)是技術(shù)研究的最重要課題之一。離子風(fēng)機(jī)系統(tǒng)是靜電放電(ESD)防護(hù)的一個(gè)關(guān)健部分，各種離子風(fēng)機(jī)被廣泛使用于 GMR磁頭生產(chǎn)線。根據(jù)工作原理分類，離子風(fēng)機(jī)有交流(AC)、直流(DC)和放射源式(Alpha)離子風(fēng)機(jī)，各種離子風(fēng)機(jī)的工作原理、性能指標(biāo)和穩(wěn)定性各有不同，通過對(duì)不同類型離子風(fēng)機(jī)可靠性及離子風(fēng)機(jī)可靠性維護(hù)的研究，對(duì)巨

2、磁阻磁頭(GMR)生產(chǎn)的靜電放電(ESD)防護(hù)具有積極的意義。
　　本文從巨磁阻效應(yīng)和巨磁阻磁頭的工作原理出發(fā)，介紹了巨磁阻磁頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及其等效電路，并闡述其靜電放電失效機(jī)理，也進(jìn)一步地做了模擬仿真測試。
　　接著，本文對(duì)離子風(fēng)機(jī)的靜電防護(hù)技術(shù)進(jìn)行了深入仔細(xì)地研究。通過對(duì)直流(DC)離子風(fēng)機(jī)電極探針的損耗的研究，發(fā)現(xiàn)正負(fù)極發(fā)射電極的損耗不同。隨著時(shí)間的推移，直流(DC)離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓會(huì)漂移，為直流(DC)離子風(fēng)機(jī)需要定

3、期檢測、調(diào)節(jié)及定期更換發(fā)射電極提供依據(jù)。通過對(duì)離子風(fēng)機(jī)ESD特性的研究，確定在GMR磁頭生產(chǎn)中，離子風(fēng)機(jī)的安全工作距離應(yīng)為12inch(約30cm)。由于現(xiàn)有的離子風(fēng)機(jī)種類多、價(jià)格相差大，根據(jù)工序的重要程度去選擇離子風(fēng)機(jī)是有必要的。通過離子風(fēng)機(jī)在GMR生產(chǎn)工序中的驗(yàn)證，確定了GMR磁頭生產(chǎn)關(guān)健工序需要安裝Alpha離子風(fēng)機(jī)的指導(dǎo)方針。
　　最后，提出了離子風(fēng)機(jī)預(yù)防性維護(hù)的概念，通過預(yù)防性維護(hù)管理系統(tǒng)的實(shí)施，使維護(hù)更具有效性、可追溯