巨磁阻磁頭在真空鍍膜工序中靜電防護(hù)的研究.pdf

1、在電腦硬盤制造業(yè)中，靜電的防護(hù)與控制是一項(xiàng)極富有挑戰(zhàn)性的工作,它貫穿于每一個(gè)細(xì)節(jié)之中。真空鍍膜工序是巨磁阻磁頭加工制造過程中非常重要的工序。因?yàn)樗嬖趪?yán)重的靜電破壞問題，所以其工序產(chǎn)出能力非常低，因而形成一個(gè)工序瓶頸。必須徹底地解決它，否則，它將給公司帶來巨大的災(zāi)難。本文將對真空鍍膜工序中巨磁阻磁頭遭受靜電破壞的原因進(jìn)行仔細(xì)地研究，并提出解決方案。
　　本文從巨磁阻效應(yīng)和巨磁阻磁頭的工作原理出發(fā)，介紹了巨磁阻磁頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及其等效

2、電路，并闡述其靜電放電失效機(jī)理，也進(jìn)一步地做了模擬仿真測試。
　　接著，以磁頭加工生產(chǎn)線為背景，本文對真空鍍膜工序的靜電破壞問題做了深入仔細(xì)地研究。結(jié)果發(fā)現(xiàn)靜電破壞問題只存在于預(yù)清洗環(huán)節(jié)之中，而與鍍硅和鍍類金剛石薄膜環(huán)節(jié)無關(guān)，并分析了預(yù)清洗環(huán)節(jié)產(chǎn)生靜電破壞問題的原因是帶電的氬離子直接作用于磁條表面，產(chǎn)生復(fù)雜的物理效應(yīng)，導(dǎo)致巨磁阻磁頭元件帶電，且?guī)щ娏客黄屏司薮抛璐蓬^承受的極限值。針對預(yù)清洗環(huán)節(jié)的三個(gè)工藝參數(shù)，本文進(jìn)一步做了詳細(xì)的研

3、究，結(jié)果表明預(yù)清洗時(shí)間和輸入功率對靜電壞品有顯著的貢獻(xiàn)，而真空室氣壓在允許調(diào)節(jié)的范圍內(nèi)對靜電壞品無明顯影響。
　　最后，針對真空鍍膜工序嚴(yán)重的靜電破壞問題，本文提出了兩套不同的解決方案：基于工藝參數(shù)調(diào)整的短期方案和基于產(chǎn)品設(shè)計(jì)的長期方案?；镜?，利用上述兩套方案，可以有效地解決真空鍍膜工序的靜電破壞問題。它不但可以為公司節(jié)約每年350萬美元原材料成本，帶來巨大的經(jīng)濟(jì)效益，而且可以大大地提升產(chǎn)品品質(zhì)和縮短生產(chǎn)周期。
　　本文所