多干涉圖組合測(cè)試中的空間一致性研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、在近代光干涉測(cè)量技術(shù)中,對(duì)于干涉圖的識(shí)別方法是其與傳統(tǒng)的光干涉測(cè)量技術(shù)的本質(zhì)的區(qū)別。數(shù)字球面干涉儀基于移相干涉技術(shù),自動(dòng)采集數(shù)字干涉圖,并通過波面求解算法準(zhǔn)確計(jì)算出其中所包含的波面信息。進(jìn)行絕對(duì)檢驗(yàn)時(shí),需要對(duì)多個(gè)對(duì)象進(jìn)行測(cè)試,并對(duì)波面做點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的運(yùn)算。因此,保障各個(gè)測(cè)試對(duì)象之間相對(duì)位置的準(zhǔn)確則成了一個(gè)控制誤差的關(guān)鍵因素。空間一致性理論基于對(duì)數(shù)字干涉圖的識(shí)別,提取空間位置特征參數(shù)及分析一致性精度,達(dá)到輔助調(diào)整的目的,從而實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。

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