大直徑數(shù)控立式滾磨機電氣設計與實現(xiàn).pdf

1、本文設計研制的大直徑數(shù)控立式滾磨機依據(jù)半導體材料的發(fā)展趨勢，針對目前國內(nèi)尚無加工大直徑、高精度滾磨機，而研究開發(fā)的低成本、全自動、大直徑化的晶體外圓滾磨設備。首先結合設備的機械主體結構特點和工作原理闡述電氣原理，制定主要技術指標，依據(jù)設備主要技術指標進行電氣設計和電氣系統(tǒng)控制電路的模塊劃分；其次通過電機和伺服驅動系統(tǒng)各項參數(shù)計算和比較分析，對伺服系統(tǒng)進行了選型設計。為實現(xiàn)設備特殊功能，對數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)進行分析計算和選擇設置；依據(jù)半導體材料

2、加工工藝的控制要求，重點進行IPC角位置系統(tǒng)的軟硬件設計，解決了設備4<'th>軸具備第二主軸和角伺服控制系統(tǒng)的雙重控制功能，并能按加工編程指令自由切換。通過增加4<'th>軸的設計，使立式滾磨機數(shù)控系統(tǒng)具備X、Y、Z、4<'th>四軸聯(lián)動功能，該軸控制系統(tǒng)的設計為后續(xù)開發(fā)更大直徑的滾磨機設備提供了穩(wěn)定、可靠的控制系統(tǒng)。最后，通過設備各項技術指標的檢測和晶體滾磨加工試驗，設備符合技術指標和加工要求。該設備的研制成功填補了國內(nèi)空白，現(xiàn)已投