大直徑數(shù)控立式滾磨機(jī)電氣設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、本文設(shè)計(jì)研制的大直徑數(shù)控立式滾磨機(jī)依據(jù)半導(dǎo)體材料的發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)目前國內(nèi)尚無加工大直徑、高精度滾磨機(jī)，而研究開發(fā)的低成本、全自動(dòng)、大直徑化的晶體外圓滾磨設(shè)備。首先結(jié)合設(shè)備的機(jī)械主體結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理闡述電氣原理，制定主要技術(shù)指標(biāo)，依據(jù)設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行電氣設(shè)計(jì)和電氣系統(tǒng)控制電路的模塊劃分；其次通過電機(jī)和伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)各項(xiàng)參數(shù)計(jì)算和比較分析，對(duì)伺服系統(tǒng)進(jìn)行了選型設(shè)計(jì)。為實(shí)現(xiàn)設(shè)備特殊功能，對(duì)數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行分析計(jì)算和選擇設(shè)置；依據(jù)半導(dǎo)體材料

2、加工工藝的控制要求，重點(diǎn)進(jìn)行IPC角位置系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)，解決了設(shè)備4<'th>軸具備第二主軸和角伺服控制系統(tǒng)的雙重控制功能，并能按加工編程指令自由切換。通過增加4<'th>軸的設(shè)計(jì)，使立式滾磨機(jī)數(shù)控系統(tǒng)具備X、Y、Z、4<'th>四軸聯(lián)動(dòng)功能，該軸控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)為后續(xù)開發(fā)更大直徑的滾磨機(jī)設(shè)備提供了穩(wěn)定、可靠的控制系統(tǒng)。最后，通過設(shè)備各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)的檢測(cè)和晶體滾磨加工試驗(yàn)，設(shè)備符合技術(shù)指標(biāo)和加工要求。該設(shè)備的研制成功填補(bǔ)了國內(nèi)空白，現(xiàn)已投