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文檔簡介
1、隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高，人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一，其中，ABO3鈣鈦礦型復合氧化物因其靈敏度高，選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1—xTixO3(x=0～0.4)系列化合物，XRD圖譜表明LaCr1—xTixO3(x=0～0.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu)，沒有雜相存在，但是LaC
2、r0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下，對LaCr1—xTixO3(x=0～0.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試，結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好，對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜，并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征，XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)，粒子在薄膜中排布均勻、致密
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