基于RF CMOS工藝的平面螺旋差分電感的參數(shù)化等效電路模型.pdf_第1頁(yè)
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1、CMOS射頻集成電路中,平面螺旋差分電感是一種必不可少的無(wú)源片上元件。但是在高頻階段,這類電感會(huì)受到四種高頻效應(yīng)的影響:趨膚效應(yīng)和鄰近效應(yīng),導(dǎo)體間的寄生電容,容性襯底耦合,感性襯底耦合。這些效應(yīng)降低了差分電感的高頻特性,特別是品質(zhì)因素,并且也給精確建模帶來(lái)了困難。目前工業(yè)界缺乏差分電感的參數(shù)化等效電路模型,特別是詳細(xì)的模型參數(shù)抽取過程分析。 本文首先分析了差分電感的線圈參數(shù)對(duì)電感性能的影響,給出了電感線圈參數(shù)優(yōu)化的方法;然后從差

2、分電感的四種高頻效應(yīng)的物理含義出發(fā),建立八角形平面螺旋差分電感的參數(shù)化等效電路模型。等效電路模型只有與差分電感的物理意義緊密結(jié)合才能實(shí)現(xiàn)參數(shù)化,才能適用于不同的晶圓代工廠、不同工藝的電感,才能預(yù)測(cè)工藝改變后的電感性能。建模時(shí)首先對(duì)平面螺旋差分電感建立一個(gè)能正確模擬端口特性的“2-π”等效電路拓?fù)?;然后提出一套解析公式使得電路中每個(gè)元件值跟工藝參數(shù)和器件的幾何尺寸建立解析關(guān)系;適當(dāng)引入到公式里的一組模型參數(shù)需要根據(jù)幾個(gè)特定的測(cè)試電感的實(shí)測(cè)

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