塵埃粒子光散射測量技術及微型光學傳感器的研究.pdf

1、塵埃粒子光散射測量技術是根據(jù)光的散射原理，即空氣中的塵埃粒子在一定強度的光束照射下，向其周圍空間散射出與其粒徑成一定比例關系的光通量而發(fā)展起來的。它可以實時測量空氣中的塵埃粒子尺寸、顆粒數(shù)濃度進而判別檢測凈化級別，廣泛應用于電子行業(yè)、制藥車間、環(huán)保、檢驗所和科研部門?！　”疚氖紫群喴榻B光學塵埃粒子計數(shù)器應用和發(fā)展概況，然后在Mie散射理論的基礎上，研究了粒徑、折射率和入射光波的波長對散射光強度分布的影響，并由單分散射的光強表達式導出

2、在偏振光的入射條件下一定立體角內(nèi)的散射光通量的表達式，與自然光入射作比較。計算了在相同強度不同光源入射下，塵埃粒子計數(shù)器的兩種常用散射光收集系統(tǒng)收集的散射光通量，結(jié)果表明：采用近前向散射光收集系統(tǒng)得到的光通量相等；而采用直角方向散射光收集系統(tǒng)時兩者并不相等且在平面偏振光入射時，收集的散射光通量還跟探測器中心與入射光偏振方向夾角有關。用MATLAB編程計算得出了在探測器中心與偏振方向的夾角成90°或270°位置時，收集的散射光通量有極值的