粒子計數傳感器光散射信號幅度分布的理論與實驗研究.pdf

1、激光塵埃粒子計數器是基于光散射的原理所研制，專門用于檢測潔凈環(huán)境中粒子的粒徑及數目的儀器，粒子計數傳感器作為其核心部件，其參數直接決定了儀器性能的優(yōu)劣。本論文引入光散射信號幅度分布表征粒子計數傳感器的特性，從理論和實驗兩方面研究了粒子計數傳感器光散射信號的幅度分布，為傳感器的優(yōu)化設計探索了一種有效的手段。
　　本文在Ansys Fluent14軟件環(huán)境下建立了光散射粒子計數傳感器內氣體和粒子流動仿真的有限元方法，一方面可為理論分析

2、傳感器光散射信號幅度分布提供粒子在光敏區(qū)的空間分布，另一方面可為傳感器氣路的優(yōu)化設計提供理論指導。在此仿真計算的基礎上，建立了粒子計數傳感器光散射信號幅度分布的理論計算模型，理論上計算了實驗用粒子計數傳感器對0.4μm、0.5μm和0.6μm PSL標準粒子的散射光信號幅度分布的理論曲線;并實驗上對粒子計數傳感器下0.4μm、0.5μm和0.6μm PSL標準粒子的散射信號幅度分布進行了測量，并與理論結果進行對比分析，討論實驗與理論結果