平板電極間射頻氣體放電均勻性的研究.pdf

1、近年來，射頻激勵平板波導氣體激光器因輸出功率高、光束質量好等優(yōu)良特性，得到了不斷的發(fā)展。本文主要討論了如何利用一種全新的數值分析方法——有限單元法，來模擬和仿真該種結構的氣體激光器平板放電電極間的電場二維分布。
　　 文章首先對射頻激勵氣體激光器在國內外的發(fā)展情況做了簡要介紹，并對本課題的來源、目的及意義做了闡述。
　　 本文從射頻氣體放電的基本理論出發(fā)，討論了射頻氣體放電的放電特征。之后從電磁場求解中的基本方程麥克斯韋

2、方程出發(fā)，介紹了電磁場求解中的基本問題和兩種數值解法——時域有限差分法和有限積分法，并利用有限積分法對射頻平板電極間電場分布問題進行了探討。
　　 文章結合有限元法在解決平板電極間一維靜電場問題中的應用，介紹了有限元法的基礎理論和原理。之后利用有限元軟件ANSYS的強大仿真功能，通過APDL語言編程，實現了射頻激勵和電感元件在大面積、窄放電間距平板電極極板上的加載，得到了激勵在不同頻率下極間電場的二維分布情況。并深入研究了激勵頻