微納米表面形貌測量中探針形狀重建的分析.pdf

1、表面三維形貌檢測是獲取零件表面形態(tài)特征的一種重要手段，也是記錄、比較和復制物體形態(tài)特征的基礎，它在機器視覺、自動加工、工業(yè)檢測、產品質量控制和生物等領域具有重要意義和廣闊的應用前景。但在接觸式測量與掃描探針顯微鏡中存在一個問題，就是所獲得的掃描圖像是樣品與觸針/探針共同作用的結果，即是被測樣品實際形貌的近似描述。所以觸針/探針重建是減小探針膨脹效應的要求，利用估計的探針形貌進行表面重建能夠得到更準確的測量結果。 本文介紹了微米尺

2、度下觸針重建的方法—刮胡刀片法，以及納米尺度下探針重建的方法—盲重建法；通過模擬探針掃描成像，分析了探針形狀對測量樣品結果的影響；通過對仿真的成像結果采用盲重建法得到的探針結果，分析了盲重建法的優(yōu)缺點；提出了一種探針重建方法—STRM法(StylusTipReconstructionMethod)，并分別與微米尺度下國際標準ISO5436-1(GB/T19067.1)建議的刮胡刀片法和納米尺度下美國國家標準與技術研究院所提出的盲重建法進