接觸式表面輪廓測量系統(tǒng)中的微恒力技術.pdf

1、表面輪廓測量儀是進行工件表面特征測量的主要儀器之一，隨著科學技術的發(fā)展，對工件表面質量的要求不斷提高，對表面輪廓測量儀的精度要求也逐漸提高。接觸式表面輪廓測量儀是表面輪廓測量儀中運用較廣泛的一種，接觸式測量的觸針在測量中具有極其重要的作用，觸針與被測表面之間的接觸力對于儀器的測量精度、量程、使用壽命以及儀器的使用范圍都有著重要的影響，接觸力的控制越來越受到人們的重視。
　　 本文首先介紹了表面輪廓儀的特點，發(fā)現(xiàn)國內目前的接觸式表

2、面輪廓測量儀中存在的探頭與工件之間的接觸力難以控制的技術問題，并以電磁學中的磁力學為基礎提出微恒磁力技術，這種解決方案可以很好的解決側頭接觸力難以控制的問題。然后對微恒力技術中磁恒力技術進行了可行性的分析，對不同特性的磁鐵進行了選擇，對磁路形式的確定以及對磁路整體進行了討論與設計，并運用電磁學有限元軟件Maxwell對磁路進行了設計與仿真分析，計算出不同磁路下穩(wěn)恒磁場的范圍以及此時驅動線圈所受的力矩以及磁場力，并選擇出合適的磁路。再通過