基于CCD的尺寸參量通用檢測系統(tǒng).pdf

1、本文在CCD光學顯微檢測系統(tǒng)基礎(chǔ)上，針對尺寸參量顯微測量方法進行了深入的研究，建立了一套基于CCD的尺寸參量通用檢測系統(tǒng)。本系統(tǒng)對原軟件系統(tǒng)做了大量的改進，進一步完善了原系統(tǒng)的測量功能，設(shè)計了邊界提取算法、手動測量、尺寸檢測、角度測量及超屏幕尺寸測量方法，解決了測量方式單一的問題，使其成為一套通用的檢測系統(tǒng)。
　　提出一種新的采用可移動坐標檢測方案，設(shè)計了測長度、測圓和測角度坐標3種不同的測量坐標系，對各測量坐標系所適用的圖像特征

2、進行了闡述，并給出了3種坐標系的變換函數(shù)。
　　在超屏幕尺寸測量技術(shù)中，關(guān)于二維光學顯微工作臺位移信號采集，采用了光柵尺來實現(xiàn)超屏幕尺寸測量，設(shè)計了光柵信號采集電路，分析研究了采集電路中的關(guān)鍵性問題，提出相應的解決方案，并討論了工作臺位移信號、圖像數(shù)據(jù)與實際尺寸的關(guān)系；同時設(shè)計了電機驅(qū)動接口電路，為二維工作臺自動測量奠定基礎(chǔ)。
　　本系統(tǒng)在使用可移動坐標法檢測普通微小尺寸測量重復精度達到：測長度、測圓坐標系為±0.3μm，測