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1、上海大學(xué)碩士學(xué)位論文像差幾何特征及KB系統(tǒng)的成像研究姓名:石亮申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):精密儀器及機(jī)械指導(dǎo)教師:呂麗軍20090301上海大學(xué)碩上學(xué)位論文ABSTRACTThefocusingopticsplaysaveryimportantroleinthedesignofultravioletandsoftx—ray(XUV)instrumentKirkpatrickBaez(KB)microscopeappliestwoorthog
2、onalmirrorstofocusthelightsourceinthemeridionalandsagittalplanesTheadvantagesofKBfocusingopticsarethatitsimagingqualityisindependentonthewavelengthandthatthereissmallcouplingbetweenthemeridionalandsagittalfocusingButitsa
3、berrationsstilllimittheresolutionifpursuinglargeacceptanceoflightbeamRecentlyKBmicroscopehasbeenwidelyusedinvariousresearchfields,suchasbiologymedicaltreatment,synchrotronradiation,inertialconfinementfusion(ICF)andspaceo
4、pticsSecond,intheopticaldesign,thegeometricalcharacteristicsprovideanintuitiveunderstandingtoopticalimagingqualityHoweverthegeometricalcharacteristicsofplane—symmetricopticalsystemsarestudiedmuchlesspreviouslyThemainwork
5、softhepaperareasfollows:1Theaberrationtheoryofplane—symmetricgratingsystemsisextendedtobeapplicabletotheaberrationanalysisoftheorthogonalopticalsystemsBasedontheWFAmethods,theaberrationexpressionsarederivedforKBopticalsy
6、stemtotwo—dimensionsourceThetwomirrorsystemisnowtreatedasawholewhileeachmirrorwaspreviouslyregardedtobeonlyresponsibleforthefocusingofmeridionalorsagittalplane,neglectingthecouplingbetweenthemFinallytheaberrationsarevali
7、datedbythenumericalcalculationsofraytracingwithShadow2Accordingtothegeneralizationofthewaveaberrationtheorytotherefractiveopticalsystem,wederivetheSeidelaberrationofaxiallysymmetricallenssystemItshowsthecorrectnessanduni
8、versalityofthewaveaberrationtheory3Basedonthegeometricalcharacteristicsofaberrationdefinedinanaxiallysymmetricalsystem,suchassphericalaberration,coma,astigmatism,fieldcurvatureanddistortion,thewaveaberrationtheoryisusedt
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