化學(xué)增幅光刻膠及其在電子束光刻中的應(yīng)用.pdf

1、本文通過沉淀聚合合成了聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸異冰片酯)四元共聚物，合成了光產(chǎn)酸劑二苯碘三氟甲基磺酸鹽，在凈化室中以聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸異冰片酯)四元共聚物為主體樹脂，以二苯碘三氟甲基磺酸鹽為光產(chǎn)酸劑，選擇合適的溶劑進(jìn)行配方優(yōu)化實(shí)驗(yàn)，最終得到實(shí)驗(yàn)范圍內(nèi)的優(yōu)化光刻膠，并進(jìn)行系統(tǒng)的光刻試驗(yàn)。 在甲苯中，以偶氮二異丁腈為引發(fā)

2、劑進(jìn)行共聚反應(yīng)，得到一系列組成及分子量不同的聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸異冰片酯)共聚物，并用重沉析法進(jìn)行分級(jí)，以此產(chǎn)物為光刻膠的主體樹脂。 在二氯甲烷中，以三甲基硅三氟甲基磺酸鹽和二苯碘氯化物反應(yīng)，用乙醚沉析得到二苯碘三氟甲基磺酸鹽。對(duì)反應(yīng)條件的優(yōu)化進(jìn)行了研究，得到了二苯碘三氟甲基磺酸鹽。以此作為光刻膠的光產(chǎn)酸劑。 在凈化室中進(jìn)行配膠試驗(yàn)，對(duì)不同分子量和單體比例的聚合物