超聲集聚微納米物質(zhì)的壓電器件結(jié)構(gòu)設(shè)計和原理分析.pdf

1、壓電換能器是一種依靠壓電材料的正、逆壓電效應(yīng)來實現(xiàn)電能與機械能之間互相轉(zhuǎn)換的器件。壓電換能器為超聲技術(shù)應(yīng)用的主要工具,其種類多且用途非常廣泛,其中在微納米物質(zhì)操縱上的應(yīng)用前景非常廣闊。本課題研究均直型超聲針換能器工作時利用聲學流驅(qū)動微納米物質(zhì)在針身反節(jié)點或者整個針身下面的硅基板上集聚的特性,主要研究內(nèi)容如下:
　　介紹了操縱微納米物質(zhì)現(xiàn)有的各種方法及各自的優(yōu)缺點,詳細的介紹了超聲操縱微納米物質(zhì)目前的研究現(xiàn)狀、壓電驅(qū)動技術(shù),并且闡述

2、了本研究課題的目的、范圍以及課題意義。
　　通過實驗與理論相互驗證的方法,研究了均直型超聲針換能器驅(qū)動微納米物質(zhì)集聚的特性與機理。超聲針在高頻振動下集聚微納米物質(zhì),其工作在彎曲模態(tài)。此時針身反節(jié)點兩邊會形成對稱的聲學流,從而驅(qū)動微納米物質(zhì)跟隨聲學流到針身反節(jié)點下基板上成線性非連續(xù)斑點集聚。
　　研究了當在成斑點集聚的實驗操作基礎(chǔ)上再增加在針身軸向上的均勻往復運動,從而實現(xiàn)微納米物質(zhì)在整個針身下集聚成線連續(xù)集聚。
　　研