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1、X射線角分類機(jī)是目前晶體切割和加工設(shè)備中重要的定向?qū)S迷O(shè)備。X射線角分類機(jī)是以X射線為手段,依據(jù)布拉格方程,對(duì)晶體進(jìn)行分析的光機(jī)電一體化精密儀器。本文在手動(dòng)X射線角分類機(jī)的基礎(chǔ)上,采用單片微型計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),利用微弱信號(hào)檢測(cè)技術(shù)、計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)測(cè)量,從而消除了人為測(cè)量帶來(lái)的測(cè)量誤差,提高了晶片檢測(cè)效率。
本文首先詳細(xì)研究了X射線角分類機(jī)的各項(xiàng)設(shè)計(jì)指標(biāo),在此基礎(chǔ)上根據(jù)功能要求,設(shè)計(jì)了X射線角分類機(jī)
2、測(cè)控系統(tǒng)的硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng),并研究了針對(duì)復(fù)雜信號(hào)的數(shù)據(jù)采集與處理的各種算法。選定美國(guó)Microchip公司先進(jìn)的高速混合信號(hào)片上系統(tǒng)單片機(jī)PIC18F4620與PIC16F887作為測(cè)控系統(tǒng)的核心;采用硬件與軟件相結(jié)合的方法實(shí)現(xiàn)了模擬信號(hào)的放大、濾波、模數(shù)轉(zhuǎn)換和數(shù)字信號(hào)處理;同時(shí),采用了一系列硬件、軟件的抗干擾方法保證測(cè)量的精度。
本文還設(shè)計(jì)開發(fā)了步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。細(xì)分驅(qū)動(dòng)技術(shù)是一種能有效改善步進(jìn)電機(jī)低頻特性和提高步進(jìn)精
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