半自動X射線角分類機(jī)計(jì)算機(jī)測控系統(tǒng)的研制與開發(fā).pdf

1、X射線角分類機(jī)是目前晶體切割和加工設(shè)備中重要的定向?qū)Ｓ迷O(shè)備.X射線角分類機(jī)是以X射線為手段,依據(jù)布拉格方程,對晶體進(jìn)行分析的光機(jī)電一體化精密儀器.半自動X射線角分類機(jī)是在原有手動X射線角分類機(jī)的基礎(chǔ)上,采用單片微型計(jì)算機(jī)測控系統(tǒng)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng),利用微弱信號檢測技術(shù)、計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)自動測量,從而消除了人為測量帶來的測量誤差,提高了晶片檢測效率.該文設(shè)計(jì)并開發(fā)了半自動X射線角分類機(jī)計(jì)算機(jī)測控系統(tǒng).首先詳細(xì)研究了半自動X射線角分類

2、機(jī)的各項(xiàng)設(shè)計(jì)指標(biāo),在此基礎(chǔ)上根據(jù)功能要求,設(shè)計(jì)了計(jì)算機(jī)測控系統(tǒng)的硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng),并研究了針對復(fù)雜信號的數(shù)據(jù)采集與處理的各種算法.選定美國CYGNAL公司先進(jìn)的高速混合信號片上系統(tǒng)單片機(jī)C8051F005作為測控系統(tǒng)的核心;以采樣定理為理論依據(jù),確定了信號采集策略;采用硬件與軟件相結(jié)合的方法實(shí)現(xiàn)了模擬信號的放大、濾波、模數(shù)轉(zhuǎn)換和數(shù)字信號處理;同時,使用了一系列硬件、軟件的抗干擾方法保證測量的精度.目前,半自動X射線角分類機(jī)已經(jīng)開發(fā)成功