角分類(lèi)機(jī)高精度轉(zhuǎn)臺(tái)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā).pdf

1、X射線角分類(lèi)機(jī)是目前晶體切割和加工設(shè)備中重要的定向?qū)Ｓ迷O(shè)備。X射線角分類(lèi)機(jī)是以X射線為手段，依據(jù)布拉格方程，對(duì)晶體進(jìn)行分析的光機(jī)電一體化精密儀器。為了提高晶片測(cè)量精度，需要采用Ω旋轉(zhuǎn)測(cè)量法進(jìn)行晶體的檢測(cè)，由于實(shí)際研發(fā)過(guò)程中采用低精度編碼器與高速數(shù)據(jù)采集器相結(jié)合的方法，通過(guò)數(shù)據(jù)插值得到每個(gè)角度秒的X射線衍射值，這就要求轉(zhuǎn)臺(tái)運(yùn)行高度平穩(wěn)。因此，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)角分類(lèi)機(jī)高精度轉(zhuǎn)臺(tái)控制系統(tǒng)具有一定的理論和實(shí)際應(yīng)用意義。
　　本文設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā)了一套基

2、于FPGA平臺(tái)轉(zhuǎn)臺(tái)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)高精度轉(zhuǎn)速控制。對(duì)于轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)速控制，采用矢量控制方法，使用增量式光電編碼器反饋轉(zhuǎn)速信息，霍爾電流傳感器采集相電流，設(shè)計(jì)了包括光電編碼器接口電路，電流采集電路、電機(jī)功率及驅(qū)動(dòng)電路在內(nèi)的硬件接口電路并基于模塊設(shè)計(jì)思想開(kāi)發(fā)了軟件模塊;同時(shí)開(kāi)發(fā)了PC機(jī)端轉(zhuǎn)速監(jiān)控軟件，最后分析與研究了影響轉(zhuǎn)臺(tái)平穩(wěn)性因素，采用滑模變結(jié)構(gòu)控制策略對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)速度控制，并通過(guò)matlab/simulink仿真證明了控制器是符合系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求