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文檔簡介
1、金屬半導(dǎo)體氧化物傳感器以其價格低廉、便于攜帶、準確度高等優(yōu)點得到了廣泛的應(yīng)用。但由于金屬半導(dǎo)體氧化物的最佳工作溫度在175℃-425℃范圍內(nèi),因此必須設(shè)計加熱器以滿足最佳工作溫度。由此帶來了很多問題,加熱裝置不僅增加了氣敏傳感器的大小,不利于集成化,也帶來了大量的能耗,更限制了其在爆炸性氣體檢測方面的應(yīng)用。為了解決這個問題,本文希望通過引入異質(zhì)結(jié),采用紫外激發(fā)的方式降低氣敏材料的工作溫度。
本文分別以化學(xué)水熱法和機械球磨混
2、合法制備的ZnO-TiO2納米復(fù)合材料粉末作為氣敏元件的基體材料,制作厚膜型管狀氣敏元件。采用紫外光激發(fā)(波長為368nm左右),研究了ZnO-TiO2氣敏元件在室溫(25℃)條件下對乙醇氣體的氣敏響應(yīng)。紫外光激發(fā)能夠引起ZnO-TiO2厚膜氣敏元件的電導(dǎo)率的急劇上升,降低了ZnO-TiO2氣敏元件的工作溫度,使ZnO-TiO2在室溫的工作條件下對100ppm的乙醇氣體有良好的氣敏響應(yīng)。XRD 測試顯示,化學(xué)水熱法和機械球磨混合法都制得
3、了ZnO-TiO2納米復(fù)合材料。在450℃ 燒結(jié)2h后沒有新相的產(chǎn)生。氣敏測試表明:純ZnO以及ZnO-TiO2厚膜氣敏元件在室溫條件下的氣敏性能是隨著光強的增加而增大,隨著溫度的增高而增大,隨著乙醇氣體濃度的增加也呈現(xiàn)了上升的趨勢。同時,對于機械球磨混合制得的不同摩爾配比的ZnO-TiO2氣敏元件,在TiO2含量為30%時,呈現(xiàn)出了最優(yōu)良的性能。在室溫條件、32w/m2的紫外光強照射下,該氣敏傳感器對100ppm的乙醇蒸汽的敏感度為0
4、.75,遠遠高于其他摩爾配比的氣敏傳感器。同時,對ZnO-TiO2 納米復(fù)合材料進行了紫外吸收光譜(UV-vis)、熒光發(fā)射光譜(PL)、靜態(tài)光電流等一系列測試。結(jié)果顯示,ZnO-TiO2 納米復(fù)合材料的禁帶寬度有所降低;同時有效的異質(zhì)結(jié)連接,延長了光生電子和空穴的壽命,從而增加了材料表面的載流子濃度,促進了材料表面氧化還原反應(yīng)的進行,提高了氣敏元件的氣敏性能。而通過測試材料的靜態(tài)光電流得到了其入射光子-電流轉(zhuǎn)換效率IPCE(incid
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