太陽(yáng)能級(jí)硅片加工過(guò)程中重金屬雜質(zhì)的沾污及其清除機(jī)理的研究.pdf

1、堿性清洗是新近發(fā)展起來(lái)的應(yīng)用于光伏半導(dǎo)體行業(yè)的一種清洗工藝，利用堿性清洗液的皂化作用，乳化作用，配合超聲波和機(jī)械運(yùn)動(dòng)，表面活性劑的使用可以獲得好的清洗效果。
　　 本課題采用石墨爐原子吸收光譜(GFAAS)分析測(cè)量硅片表面金屬含量，驗(yàn)證堿性清洗工藝對(duì)清除Cu、Fe 等重金屬沾污的有效性。
　　 堿性清洗液在清洗過(guò)程中可以較長(zhǎng)時(shí)間保持一定的pH 值，是因?yàn)楣杵砻婀柙睾颓逑匆褐蠴H-發(fā)生雙向的化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)平衡后，pH

2、值維持在11.5-12范圍內(nèi)不會(huì)持續(xù)下降。
　　 在堿性清洗液中添加表面活性劑，與不添加表面活性劑的清洗效果對(duì)比，前者可以明顯減少硅片表面金屬沉積，實(shí)驗(yàn)表明，添加表面活性劑清洗后硅片表面Cu、Fe 含量都在控制限之內(nèi)，過(guò)程穩(wěn)定，沒(méi)有變異點(diǎn)。其中Cu 含量均值為6.16×1013atoms/cm2，F(xiàn)e 含量均值為2.853×1013atoms/cm2。
　　 多線切割用砂漿的重復(fù)回收利用可以顯著降低成本，使用Sysmex