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文檔簡介
1、本文總結(jié)了目前廣泛研究的透明導(dǎo)電薄膜材料。對CdO薄膜的各種生長技術(shù)及原理進(jìn)行了綜述和展望。利用反應(yīng)磁控濺射首次成功的在室溫下有機(jī)襯底(聚對苯二甲酸乙二醇乙脂PET(Polyethyleneterephthalate))和玻璃襯底上制備了結(jié)晶取向的CdO薄膜，并利用X射線衍射儀、Hall測試儀，紫外—可見光譜儀，場發(fā)射掃描電鏡等對CdO薄膜的結(jié)構(gòu)性能和光學(xué)性能進(jìn)行了測試和分析，并研究了氧氣含量、襯底溫度、濺射功率、濺射時間等參數(shù)對CdO
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