12199.介質(zhì)阻擋放電氬等離子體的光譜診斷研究

1、碩士學位論文介質(zhì)阻擋放電氬等離子體的光譜診斷研究Spectroscopydiagnosisofargondielectricbarrierdischargeplasmas學號：21302033完成日期：圣Q!魚生互旦大連理工大學DalianUniversityofTechnology大連理工大學碩士學位論文摘要本文采用發(fā)射光譜法(OES)和可調(diào)諧二極管激光吸收光譜法(TDLAS)對介質(zhì)阻擋放電氬等離子體進行了診斷研究。利用發(fā)射光譜法測定

2、了電子溫度隨放電電壓、氣體壓強、氣體流量以及氮氣含量的變化規(guī)律，采用一種簡單的方法——發(fā)射光譜分支比法(OES—BF)測定了心亞穩(wěn)態(tài)數(shù)密度，并與吸收光譜求數(shù)密度的方法作了比較。利用可調(diào)諧二極管激光吸收光譜技術重點考察了氬亞穩(wěn)態(tài)ls5、1s3的數(shù)密度和氣體溫度隨放電電壓，氣體壓強，氣體流量，極板間距以及N2含量的變化情況。取得如下的實驗結果：1)基于費米一狄拉克(F—M)模型和日冕(Corona)模型，利用發(fā)射光譜法分別對電子溫度進行了測

3、定。保持其他條件不變，當增大放電電壓或N2含量，電子溫度是增大的，當增大氣體壓強或流量時，電子溫度是減小的。兩種模型下計算的電子溫度的變化趨勢大體一致，但相同條件下F—M模型計算的數(shù)值要比日冕模型大(差值約01eV)。2)利用OESBF技術測定的亞穩(wěn)態(tài)1s5、1s3的數(shù)密度隨放電參數(shù)的變化趨勢與吸收光譜法所測結果相似，其中所測的1s5數(shù)密度的數(shù)值大小與吸收光譜法的結果較為接近，但是所測亞穩(wěn)態(tài)ls3的值卻只是后者的1／2左右。3)利用可調(diào)

4、諧二極管激光吸收光譜法計算了亞穩(wěn)態(tài)1s5、1s3的數(shù)密度和氣體溫度。發(fā)現(xiàn)在實驗條件范圍內(nèi)，心亞穩(wěn)態(tài)數(shù)密度和氣體溫度隨放電電壓和流量的增大都先增大，之后逐漸趨于平緩，但是其隨流量的變化幅度較小，增長較緩慢。隨氣壓的升高，Ar亞穩(wěn)態(tài)數(shù)密度和氣體溫度先增加并達到一個極大值，之而后逐漸降低。適當增大極板間距，時亞穩(wěn)態(tài)數(shù)密度明顯降低，但氣體溫度卻有所升高。N2的加入對亞穩(wěn)態(tài)有很強的淬滅作用，05％的N2就會使數(shù)密度下降到50％，但隨著N2濃度的進