介質(zhì)表面態(tài)對(duì)介質(zhì)阻擋放電等離子體參數(shù)的影響研究.pdf

1、介質(zhì)阻擋放電因其能夠方便、經(jīng)濟(jì)、靈活地產(chǎn)生分布面積較大的低溫等離子體而得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,然而目前產(chǎn)生具有特征分布特性介質(zhì)阻擋放電條件的指導(dǎo)性理論尚未建立,影響等離子體參數(shù)的因素也沒有形成統(tǒng)一而全面的認(rèn)識(shí)。本文分析研究了施加電壓、電源頻率、氣體流速和氣體成分對(duì)大氣壓下重復(fù)脈沖介質(zhì)阻擋放電等離子體參數(shù)的影響,并研究了介質(zhì)表面態(tài)包括介質(zhì)表面粗糙度和表面電導(dǎo)率對(duì)這些參數(shù)的影響。主要通過發(fā)射光譜法計(jì)算了等離子體微觀參數(shù)。
　　本研究在大

2、氣壓重復(fù)脈沖介質(zhì)阻擋放電中,利用波爾茲曼曲線斜率法擬合了氬原子的電子激發(fā)溫度,重點(diǎn)分析了發(fā)射光譜主要譜線強(qiáng)度和電子激發(fā)溫度與施加電壓、電源頻率、氣體流速及氣體成分之間的關(guān)系。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),隨著施加電壓的增加電子激發(fā)溫度先降后升再下降;隨著電源頻率的升高電子激發(fā)溫度先下降后上升,上升階段的激發(fā)溫度均比下降階段高;氣體流速的增加對(duì)激發(fā)溫度的影響呈現(xiàn)先增后減趨勢(shì);而氣體成份對(duì)激發(fā)溫度有較大影響。關(guān)于介質(zhì)表面態(tài)對(duì)等離子體參數(shù)影響的研究,本文主要工作

3、集中于介質(zhì)表面粗糙度和介質(zhì)表面電導(dǎo)率等參數(shù)。實(shí)驗(yàn)時(shí)通過不同號(hào)別的砂紙機(jī)械打磨待實(shí)驗(yàn)介質(zhì)表面,以產(chǎn)生不同的表面粗糙度。在不同的施加電壓下,分析其對(duì)電子激發(fā)溫度和分子振動(dòng)溫度的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明隨著粗糙度的增加電子激發(fā)溫度和分子振動(dòng)溫度都呈下降趨勢(shì),分子振動(dòng)溫度的下降較電子激發(fā)溫度劇烈。同樣,通過不同方塊電阻阻值的ITO玻璃改變介質(zhì)表面電導(dǎo)率研究了其對(duì)等離子體參數(shù)的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,隨著施加電壓的增加電子激發(fā)溫度下降,而分子振動(dòng)溫度先下降