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1、觸發(fā)型真空弧離子源放電特性研究獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是我個(gè)人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得研究成果。據(jù)我所知,除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外,論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫的研究成果,也不包含為獲得中國工程物理研究院或者其他單位的學(xué)位或證書所使用過的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的貢獻(xiàn)均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。學(xué)位論文作者簽名:萬綱司簽字日期:7口/午年4月/口日學(xué)位論文使用授權(quán)的說明本學(xué)位論文作
2、者完全了解并接受中國工程物理研究院研究生部有關(guān)保存、使用學(xué)位論文的規(guī)定,允許論文被查閱、借閱和送交國家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu),同時(shí)授權(quán)中國工程物理研究院研究生部可以將學(xué)位論文全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索,可以影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。學(xué)位論文作者簽名:猾簽字日期:歷7可年牛月/013導(dǎo)師簽名:簽字El期:函c少年緲月fo日觸發(fā)型真空弧離子源放電特性研究AbstractThetriggeredvacuumarcions
3、ources(TVAIS)beenintensivelyusedtoprovidehighcurrentionbeamsinfilmdepositionandmaterialsurfacemodificationparticleaccelerationinjection,plasmathrusterandfundamentalnuclearphysicsstudies,primarilyduetothelowbreakdownvolta
4、ge,higharCcurrentandhighrepeatabilityOnthebasisofthereviewonthecurrentdevelopmentsofdischargetheories,triggeringmechanismsandtriggereddischargemodesfortheTVAIS,thepropertiesoftheTVAISbasedonthehigh—voltagesurfaceflashove
5、rdischargemodearestudiedbyusingbothexperimentalandsimulativeapproachesInanattempttofurtherunderstandthemechanismofthehighvoltagesurfaceflashoverdischarge,theelectricfielddistributionandtheelectronandiontemporaldistributi
6、onsinthedischargeprocessaresimulatedbyusingparticleincell(PIC)methodontheassumptionthatinitialelectronemissionbasedontheFowlerNordheimformula,SecondaryElectronEmissionAvalanche(SEEA)theoryandtheimpactionizationmodelforad
7、esorbedgaslayeronaceramicinsulatorsurfaceTheimagesofsecondaryelectronmultiplicationandoccurringofbreakdowninthesurfaceflashoverprocessareacquiredThecharacteristicsoftheTVAISsuchasthetriggervoltage,arCburningvoltageanddel
8、aytimeareobtainedfordifferentmaterialsandgapdistancesResultsshowthatthetriggeredtimedelayoftheionsourceismainlyaffectedbythetriggeringstructure,triggeringcurrentdensityandtriggeringvoltageThereexistlittlecorrelationswith
9、themaingapdistanceandthemaingapvoltageThetriggervoltageisintherangeof7—11kVTheburningvoltageofmainarCisabout30VTheactiondelaytimeisabout20nsfromthebeginningofthetriggerpulsetothetimethatthemaingapvoltagebeginstodecline,w
10、hiletheconductiondelaytimeis130—210nsfromthestartingpointofthemaingapvoltagedecliningtothetimethatthemaingapvoltagestabilizes,andincreaseswiththedistanceofthemaingapThedischargemechanismisstudiedbycombiningahighspeedfram
11、ingcamerawithhiglltemporalspatialresolutionsanddischargeparametermeasurements;theinfuenceofcathodespotsformationandplasmadiffusionontriggeredvacuumarcdischargearealsodiscussedThephotographsofdischargeprocessanddischargeg
12、apareperformedThefactorsinfluencingdischargearealsoanalyzedThetotalioncurrentoftriggeredionsourceismeasuredusingflatprobediagnosticmethodTheresultsdemonstratethestructureoftheionsourceexertsasignificantinfluenceontheionc
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