傳感器在機(jī)電一體化中的應(yīng)用畢業(yè)論文

1、<p><b>　　畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）</b></p><p>　　設(shè)計(jì)（論文）題目： 傳感器在機(jī)電一體化中的應(yīng)用</p><p>　　二○一三 年 五 月</p><p><b>　　目 錄</b></p><p>　　摘要...............................

2、...................................................................................................................1</p><p>　　第一章 緒論..........................................................................

3、......................................................3</p><p>　　概述........................................................................................................................................3<

4、;/p><p>　　第二章 傳感器的基本知識(shí)....................................................................................................4</p><p>　　2.1 傳感器的分類及特性..................................................

5、..............................................4</p><p>　　2.2 常用傳感器的類型及特點(diǎn).......................................................................................4</p><p>　　第三章 常用傳感器的類型、特點(diǎn)、結(jié)構(gòu)及用途..

6、............................................................5</p><p>　　3.1 電阻式傳感器................................................................................................5</p><p>　　3.2 電容

7、式傳感器................................................................................................7</p><p>　　3.3 電感式傳感器......................................................................................

8、..........8</p><p>　　3.4 壓電式傳感器..............................................................................................10</p><p>　　3.5 霍爾式傳感器…………………………………………………….......…...11</p>&l

9、t;p>　　第四章 傳感器在機(jī)電一體化系統(tǒng)中的應(yīng)用…………………………………….……..14</p><p>　　4.1 傳感器在工業(yè)機(jī)器人中的應(yīng)用…………………………………………14</p><p>　　4.2 傳感器在機(jī)械制造中的應(yīng)用……………………………………………14</p><p>　　第五章 機(jī)電一體化系統(tǒng)中傳感器的選擇………………………………

10、……...…..…..15</p><p>　　5.1 數(shù)控機(jī)床對(duì)傳感器的要求…………………………………..…………...…..…..15</p><p>　　5.2 位移的檢測(cè)……………………………………………………….………...…..…..15</p><p>　　5.3 位置的檢測(cè)…………………………………………………….…………...…..…..16<

11、;/p><p>　　5.4 速度的檢測(cè)…………………………………………………..….………...…..…...16</p><p>　　5.5 壓力的檢測(cè). ………………………………………………..……………...…..…..17</p><p>　　5.6 溫度的檢測(cè)………………………………………………….……………...…..…..17</p><

12、;p>　　5.7 刀具磨損的監(jiān)控…………………………………………………………...…..…..17</p><p>　　第六章 傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì).……………………………………...………………….19</p><p>　　結(jié)束語...........................................................................

13、...............................................................21</p><p><b>　　第一章 緒論</b></p><p><b>　　概述</b></p><p>　　對(duì)于傳感器的研究始于本世紀(jì)30年代。當(dāng)今，在世界范圍內(nèi)掀起一股“傳感器熱”，各

14、先進(jìn)工業(yè)國(guó)都極為重視傳感技術(shù)和傳感器研究、開發(fā)和生產(chǎn)。傳感技術(shù)已成為重要的現(xiàn)代科技領(lǐng)域，傳感器及其系統(tǒng)生產(chǎn)已成為重要的新興行業(yè)。</p><p>　　傳感器技術(shù)是一項(xiàng)當(dāng)今世界令人矚目的迅猛發(fā)展起來的高新技術(shù)之一，也是當(dāng)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要標(biāo)志，它與通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)構(gòu)成信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱。如果說計(jì)算機(jī)是人類大腦的擴(kuò)展,那么傳感器就是人類五官的延伸，當(dāng)集成電路、計(jì)算機(jī)技術(shù)飛速發(fā)展時(shí)，人們才逐步認(rèn)識(shí)信息攝取裝置

15、——傳感器沒有跟上信息技術(shù)的發(fā)展而驚呼“大腦發(fā)達(dá)、五官不靈”。 </p><p>　　傳感器技術(shù)是測(cè)量技術(shù)、半導(dǎo)體技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、信息處理技術(shù)、微電子學(xué)、光學(xué)、聲學(xué)、精密機(jī)械、仿生學(xué)、材料科學(xué)等眾多學(xué)科相互交叉的綜合性高新技術(shù)密集型前沿技術(shù)之一。如今它已經(jīng)滲透到生產(chǎn)和生活的各個(gè)領(lǐng)域，從尖端武器裝備、航空航天技術(shù)，到機(jī)械設(shè)備、工業(yè)過程控制、交通運(yùn)輸、紡織印刷、家用電器、醫(yī)療衛(wèi)生、辦公設(shè)備及環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域，均得到廣

16、泛應(yīng)用，在機(jī)電一體化技術(shù)革命中正在發(fā)揮重要作用。</p><p>　　第二章 傳感器的基本知識(shí)</p><p>　　從20世紀(jì)80年代起，逐步在世界范圍內(nèi)掀起一股“傳感器熱”，各先進(jìn)工業(yè)國(guó)都極為重視傳感技術(shù)和傳感器研究、開發(fā)和生產(chǎn)。傳感技術(shù)已成為重要的現(xiàn)代科技領(lǐng)域，傳感器及其系統(tǒng)生產(chǎn)已成為重要的新興行業(yè)，文章概述傳感器研究現(xiàn)狀與發(fā)展，探討傳感器在機(jī)電一體化系統(tǒng)中的應(yīng)用，并分析我國(guó)傳感器技術(shù)

17、發(fā)展的若干問題及發(fā)展方向。</p><p>　　2.1傳感器的分類及特性</p><p>　　傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)換電路三部分組成。1.傳感器按其測(cè)量對(duì)象可分為檢測(cè)機(jī)電一體化系統(tǒng)內(nèi)部狀態(tài)的內(nèi)部信息傳感器及系統(tǒng)外部環(huán)境狀態(tài)的外部信息傳感器。2傳感器按控工作機(jī)理可分制電動(dòng)機(jī)可以分為物理型和結(jié)構(gòu)型。3傳感器按能量源分類可分為無源型和有源型。4按輸出信號(hào)的性質(zhì)可將傳感器分為開關(guān)型

18、，模擬型和數(shù)字型。</p><p>　　傳感器的特性主要是指輸出與輸入之間的關(guān)系，有靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性之分。傳感器的靜態(tài)特性；當(dāng)傳感器的輸入量為常量或隨時(shí)間作緩慢變化時(shí)，傳感器的輸出與輸入之間的關(guān)系稱為靜態(tài)特性。傳感器的動(dòng)態(tài)特性；傳感器的輸出量對(duì)于隨時(shí)間變化的輸入量的響應(yīng)特性稱為傳感器的動(dòng)態(tài)特性。</p><p>　　2.2常用傳感器的類型及特點(diǎn)。</p><p>

19、　　電阻式傳感器：這類傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，尺寸小，性能穩(wěn)定。受環(huán)境影響小。不需放大?；€變阻器式傳感器精度可達(dá)0.1％。</p><p>　　電容式傳感器：溫度穩(wěn)定性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，可進(jìn)行非接觸測(cè)量，然而，輸入阻抗高，負(fù)載能力差。電容式傳感器精度可達(dá)0.01％。</p><p>　　電感式傳感器：無活動(dòng)觸點(diǎn)、可靠度高、壽命長(zhǎng)；分辨率高；靈敏度高；線性度高、重復(fù)性好；測(cè)量范圍寬(測(cè)量范

20、圍大時(shí)分辨率低)；無輸入時(shí)有零位輸出電壓，引起測(cè)量誤差；對(duì)激勵(lì)電源的頻率和幅值穩(wěn)定性要求較高；不適用于高頻動(dòng)態(tài)測(cè)量。</p><p>　　壓電式傳感器：高阻抗、低能量；但是無靜態(tài)輸出，要求有很高的電輸出阻抗。需用低電容的低噪聲電纜。</p><p>　　霍爾傳感器：在靜止?fàn)顟B(tài)下，具有感受磁場(chǎng)的獨(dú)特能力，并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、噪聲小、頻率范圍寬(從直流到微波)、動(dòng)態(tài)范圍大(輸出電勢(shì)變化范

21、圍可達(dá)1000:1)、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。</p><p>　　第三章 常用傳感器的類型、特點(diǎn)、結(jié)構(gòu)及用途</p><p>　　傳感器已廣泛應(yīng)用于航天、航空、國(guó)防科研、信息產(chǎn)業(yè)、機(jī)械、電力、能源、交通、冶金、石油、建筑、郵電、生物、醫(yī)學(xué)、環(huán)保、材料、災(zāi)害預(yù)測(cè)預(yù)防、農(nóng)林、漁業(yè)生產(chǎn)、食品、煙酒制造、機(jī)器人、家電等諸多領(lǐng)域,可以說幾乎滲透到每個(gè)領(lǐng)域。</p><p>　　下面，

22、我就幾類基本類型的傳感器做些介紹：</p><p>　　3.1 電阻式傳感器</p><p>　　電阻式傳感器是把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電阻變化的一種傳感器.按工作的原理可分為：變阻器式、電阻應(yīng)變式、熱敏式、光敏式、電敏式。</p><p><b>　　變阻器式傳感器</b></p><p>　　變阻器式傳感器的等效電路如圖3.1

23、：</p><p><b>　　圖3.1</b></p><p>　　如果電阻絲的直徑和材料確定，單位位移的電阻值為一常數(shù)，傳感器的輸出與輸入成線性關(guān)系。</p><p>　　變阻式傳感器又稱為電位器式傳感器。它們是由電阻元件及電刷(活動(dòng)觸點(diǎn))兩個(gè)基本部分組成。電刷相對(duì)于電阻元件的運(yùn)動(dòng)可以是直線運(yùn)動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)和螺旋運(yùn)動(dòng)，因而可以將直線位移或角位移轉(zhuǎn)

24、換為與其成一定函數(shù)關(guān)系的電阻或電壓輸出。</p><p>　　這類傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，尺寸小，性能穩(wěn)定。受環(huán)境影響小。不需放大?；€變阻器式傳感器精度可達(dá)0.1％。</p><p>　　在生活中，應(yīng)用實(shí)例諸多，如重量的自動(dòng)檢測(cè)--配料設(shè)備、煤氣包儲(chǔ)量檢測(cè)等。</p><p>　　(2)電阻應(yīng)變式傳感器</p><p>　　電阻應(yīng)變式傳感器由彈性敏

25、感元件、電阻應(yīng)變計(jì)、補(bǔ)償電阻和外殼組成，可根據(jù)具體測(cè)量要求設(shè)計(jì)成多種結(jié)構(gòu)形式。彈性敏感元件受到所測(cè)量的力而產(chǎn)生變形，并使附著其上的電阻應(yīng)變計(jì)一起變形。電阻應(yīng)變計(jì)再將變形轉(zhuǎn)換為電阻值的變化，從而可以測(cè)量力、壓力、扭矩、位移、加速度和溫度等多種物理量。</p><p>　　金屬應(yīng)變片的電阻相對(duì)變化為 ， 稱為金屬電阻絲的軸向應(yīng)變，簡(jiǎn)稱縱向應(yīng)變。稱為電阻絲的徑向應(yīng)變，簡(jiǎn)稱橫向應(yīng)變。當(dāng)電阻絲沿橫向伸長(zhǎng)時(shí)，兩者之間的關(guān)系為

26、，其中為電阻絲材料的泊桑比，，則，金屬電阻材料的很小，即其壓阻效應(yīng)很弱，這樣上式可簡(jiǎn)化為，其靈敏度為。為了將電阻應(yīng)變式傳感器的電阻變化轉(zhuǎn)換成電壓或電流信號(hào)，在應(yīng)用中一般采用電橋電路作為其測(cè)量電路。電橋電路具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、測(cè)量范圍寬、線性度好且易實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)葍?yōu)點(diǎn)。能較好地滿足各種應(yīng)變測(cè)量要求，因此在應(yīng)變測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用。</p><p>　　電橋電路按輔助電源分有直流電橋和交流電橋，由于直流電橋的輸

27、出信號(hào)在進(jìn)一步放大時(shí)易產(chǎn)生零漂，故交流電橋的應(yīng)用更為廣泛。直流電橋只用于較大應(yīng)變的測(cè)量，交流電橋可用于各種應(yīng)變的測(cè)量。</p><p>　　電橋電路按其工作方式分有單臂、雙臂和全橋三種 圖3.2。</p><p>　　圖3.2 直流電橋的連接方式</p><p>　　a)半橋單臂b)半橋雙臂c)全橋</p><p>　　金屬應(yīng)變片的穩(wěn)定

28、性和溫度特性好，但其靈敏度?。欢雽?dǎo)體應(yīng)變片應(yīng)變靈敏度大;體積小;能制成具有一定應(yīng)變電阻的元件，但它的缺點(diǎn)是溫度穩(wěn)定性和可重復(fù)性不如金屬應(yīng)變片。</p><p>　　它的應(yīng)用實(shí)例如橋梁固有頻率測(cè)量、電子稱、桶式測(cè)力傳感器等。</p><p><b>　　圖3.3 電子稱</b></p><p>　　3.2 電容式傳感器</p>

29、<p>　　把被測(cè)的機(jī)械量，如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器。電容量為當(dāng)被測(cè)參數(shù)變化使得上式中的A、d 或 發(fā)生變化時(shí)，電容量C也隨之變化。若保持其中兩個(gè)參數(shù)不變，而僅改變其中一個(gè)參數(shù)，就可把該參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化，通過測(cè)量電路就可轉(zhuǎn)換為電量輸出。</p><p>　　電容式傳感器的等效電路如 圖3.4：</p><p><b>　　圖3.4</b&

30、gt;</p><p>　　電容式傳感器的測(cè)量電路同樣為電橋電路，如圖3.5：</p><p><b>　　圖3.5</b></p><p>　　電容式傳感器的溫度穩(wěn)定性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，可進(jìn)行非接觸測(cè)量，然而，輸入阻抗高，負(fù)載能力差。電容式傳感器精度可達(dá)0.01％。</p><p>　　其運(yùn)用實(shí)例有電容傳聲器、

31、轉(zhuǎn)速測(cè)量、電容測(cè)厚儀、電容式油量表等。</p><p>　　3.3 電感式傳感器</p><p>　　電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)把被測(cè)的物理量如位移，壓力，流量，振動(dòng)等轉(zhuǎn)換成線圈的自感系數(shù)和互感系數(shù)的變化，再由電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出，實(shí)現(xiàn)非電量到電量的轉(zhuǎn)換。</p><p>　　電感式傳感器具有以下特點(diǎn)： </p><p>　　(1

32、) 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，傳感器無活動(dòng)電觸點(diǎn)，因此工作可靠壽命長(zhǎng)。 </p><p>　　(2) 靈敏度和分辨力高，能測(cè)出0.01微米的位移變化。傳感器的輸出信號(hào)強(qiáng)，電壓靈敏度一般每毫米的位移可達(dá)數(shù)百毫伏的輸出。</p><p>　　(3) 線性度和重復(fù)性都比較好，在一定位移范圍(幾十微米至數(shù)毫米)內(nèi)，傳感器非線性誤差可達(dá)0.05%~0.1%。同時(shí)，這種傳感器能實(shí)現(xiàn)信息的遠(yuǎn)距離傳輸、記錄、顯示和控制，

33、它在工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)中廣泛被采用。但不足的是，它有頻率響應(yīng)較低，不宜快速動(dòng)態(tài)測(cè)控等缺點(diǎn)。 </p><p>　　電感式傳感器種類很多，常見的有自感式，互感式和渦流式三種圖</p><p><b>　　圖3.6</b></p><p>　　圖3.6中介紹的是自感式傳感器。由鐵心和線圈構(gòu)成的將直線或角位移的變化轉(zhuǎn)換為線圈電感量變化的傳感器，又稱電感

34、式位移傳感器。這種傳感器的線圈匝數(shù)和材料導(dǎo)磁系數(shù)都是一定的，其電感量的變化是由于位移輸入量導(dǎo)致線圈磁路的幾何尺寸變化而引起的。當(dāng)把線圈接入測(cè)量電路并接通激勵(lì)電源時(shí)，就可獲得正比于位移輸入量的電壓或電流輸出。電感式傳感器的特點(diǎn)是：①無活動(dòng)觸點(diǎn)、可靠度高、壽命長(zhǎng)；②分辨率高；③靈敏度高；④線性度高、重復(fù)性好；⑤測(cè)量范圍寬(測(cè)量范圍大時(shí)分辨率低)；⑥無輸入時(shí)有零位輸出電壓，引起測(cè)量誤差；⑦對(duì)激勵(lì)電源的頻率和幅值穩(wěn)定性要求較高；⑧不適用于高頻動(dòng)

35、態(tài)測(cè)量。電感式傳感器主要用于位移測(cè)量和可以轉(zhuǎn)換成位移變化的機(jī)械量(如力、張力、壓力、壓差、加速度、振動(dòng)、應(yīng)變、流量、厚度、液位、比重、轉(zhuǎn)矩等)的測(cè)量。常用電感式傳感器有變間隙型、變面積型和螺管插鐵型。在實(shí)際應(yīng)用中，這三種傳感器多制成差動(dòng)式，以便提高線性度和減小電磁吸力所造成的附加誤差。 </p><p>　　變間隙型電感傳感器 這種傳感器的氣隙δ隨被測(cè)量的變化而改變,從而改變磁阻。它的靈敏度和非線性都隨氣隙的增大

36、而減小，因此常常要考慮兩者兼顧。δ一般取在0.1～0.5毫米之間。 </p><p>　　變面積型電感傳感器 這種傳感器的鐵芯和銜鐵之間的相對(duì)覆蓋面積(即磁通截面)隨被測(cè)量的變化而改變,從而改變磁阻。它的靈敏度為常數(shù)，線性度也很好。 </p><p>　　螺管插鐵型電感傳感器 它由螺管線圈和與被測(cè)物體相連的柱型銜鐵構(gòu)成。其工作原理基于線圈磁力線泄漏路徑上磁阻的變化。銜鐵隨被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)改變

37、了線圈的電感量。這種傳感器的量程大，靈敏度低，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于制作。</p><p>　　電感式傳感器的應(yīng)用實(shí)例有：測(cè)厚、零件計(jì)數(shù)、側(cè)轉(zhuǎn)速、無損探傷、測(cè)微技術(shù)等。</p><p><b>　　圖3.7</b></p><p>　　3.4 壓電式傳感器</p><p>　　壓電式傳感器的工作原理是基于某些介質(zhì)材料的壓電效應(yīng)

38、, 是典型的有源傳感器。當(dāng)材料受力作用而變形時(shí), 其表面會(huì)有電荷產(chǎn)生，從而實(shí)現(xiàn)非電量測(cè)量。</p><p>　　壓電式傳感器的等效電路：壓電元件兩電極間的壓電陶瓷或石英晶體為絕緣體，因此可以構(gòu)成一個(gè)電容器，晶體上聚集正負(fù)電荷的兩表面相當(dāng)于電容的兩個(gè)極板, 極板間物質(zhì)等效于一種介質(zhì), 則其電容量為：，壓電元件受外力時(shí)，兩表面產(chǎn)生等量的正負(fù)電荷，壓電元件的開路電壓為：。</p><p>　　壓

39、電傳感器可以等效為一個(gè)電荷源與一個(gè)電容并聯(lián)。如下圖3.8 (a)并聯(lián)圖</p><p>　　壓電傳感器也可以等效為一個(gè)電荷源與一個(gè)電容相串聯(lián)的電壓源。如下圖3.8 (b)串聯(lián)圖</p><p><b>　　圖3.8</b></p><p>　　電壓靈敏度與電荷靈敏度之間的關(guān)系為：</p><p>　　壓電式傳感器的測(cè)量電

40、路： 測(cè)量時(shí)，需把壓電傳感器用電纜接于前置放大器，前置放大器作用： 一是放大傳感器輸出的微弱信號(hào)；二是把它的高輸出阻抗變換為低輸出阻抗。</p><p>　　電壓放大器如圖(a)： 電荷放大器如圖(b)： (b)</p><p><b>　　圖3.9</b></p><p>　　壓電式傳感器

41、的性能特點(diǎn)：高阻抗、低能量；但是無靜態(tài)輸出，要求有很高的電輸出阻抗。需用低電容的低噪聲電纜。</p><p>　　壓電式傳感器的應(yīng)用有：壓電式測(cè)力傳感器、壓電式加速度傳感器、壓電式金屬加工切削力測(cè)量、壓電式玻璃破碎報(bào)警器等。</p><p>　　壓電式金屬加工切削力測(cè)量：</p><p><b>　　圖 3.10</b></p>

42、<p>　　壓電式玻璃破碎報(bào)警器：</p><p><b>　　圖 3.11</b></p><p>　　3.5 霍爾式傳感器</p><p>　　霍爾傳感器是利用霍爾元件基于霍爾效應(yīng)原理而將被測(cè)量轉(zhuǎn)換成電動(dòng)勢(shì)輸出的一種傳感器。由于霍爾元件在靜止?fàn)顟B(tài)下，具有感受磁場(chǎng)的獨(dú)特能力，并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、噪聲小、頻率范圍寬(從直流到微

43、波)、動(dòng)態(tài)范圍大(輸出電勢(shì)變化范圍可達(dá)1000:1)、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，因此獲得了廣泛應(yīng)用。 </p><p>　　金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的磁場(chǎng)中，磁場(chǎng)方向垂直于薄片，當(dāng)有電流流過薄片時(shí)，在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)，這種現(xiàn)象稱霍爾效應(yīng)。如下圖：</p><p><b>　　圖3.12</b></p><p>　

44、　霍爾元件的主要性能參數(shù)：</p><p>　　(1) 輸入電阻和輸出電阻</p><p>　　輸入電阻：控制電極間的電阻</p><p>　　輸出電阻：霍爾電極之間的電阻</p><p>　　(2) 額定控制電流和最大允許控制電流</p><p>　　額定控制電流：當(dāng)霍爾元件有控制電流使其本身在空氣中產(chǎn)生10℃溫升時(shí)

45、，對(duì)應(yīng)的控制電流值。</p><p>　　最大允許控制電流：以元件允許的最大溫升限制所對(duì) 應(yīng)的控制電流值</p><p>　　(3) 不等位電勢(shì)：當(dāng)霍爾元件的控制電流為額定值時(shí)，若元件所處位置的磁感應(yīng)強(qiáng)度為零，測(cè)得的空載霍爾電勢(shì)。</p><p>　　(4) 寄生直流電勢(shì) </p><p>　　霍爾元件零位誤差的一部分當(dāng)沒有外加磁場(chǎng)，霍爾元件

46、用交流控制電流時(shí)，霍爾電極的輸出有一個(gè)直流電勢(shì)，控制電極和霍爾電極與基片的連接是非完全歐姆接觸時(shí)，會(huì)產(chǎn)生整流效應(yīng)。兩個(gè)霍爾電極焊點(diǎn)的不一致，引起兩電極溫度不同產(chǎn)生溫差電勢(shì)</p><p>　　(5) 霍爾電勢(shì)溫度系數(shù)</p><p>　　在一定磁感應(yīng)強(qiáng)度和控制電流下，溫度每變化1度時(shí)，霍爾電勢(shì)變化的百分率。</p><p>　　霍爾傳感器的靈敏度和線性度主要取決于磁

47、路系統(tǒng)和霍爾元件的特性。</p><p>　　霍爾傳感器動(dòng)態(tài)性能好。</p><p>　　霍爾傳感器的基本測(cè)量電路如下：激勵(lì)電流由電壓源E供給，其大小由可變電阻來調(diào)節(jié)。</p><p><b>　　圖3.13</b></p><p>　　霍爾型傳感器的應(yīng)用有：霍爾轉(zhuǎn)速表、霍爾式微壓力傳感器、各種位移傳感器等。</p

48、><p><b>　　圖3.14</b></p><p>　　第四章 傳感器在機(jī)電一體化系統(tǒng)中的應(yīng)用</p><p>　　傳感器是左右機(jī)電一體化系統(tǒng)(或產(chǎn)品)發(fā)展的重要技術(shù)之一，廣泛應(yīng)用于各種自動(dòng)化產(chǎn)品之中。</p><p>　　4.1 傳感器在工業(yè)機(jī)器人中的應(yīng)用</p><p>　　工業(yè)機(jī)器人的準(zhǔn)確

49、操作取決于對(duì)其自身狀態(tài)、操作對(duì)象及作業(yè)環(huán)境的準(zhǔn)確認(rèn)識(shí)，這種準(zhǔn)確認(rèn)識(shí)均通過傳感器的感覺功能實(shí)現(xiàn)。</p><p>　　機(jī)器人自身狀態(tài)信息的獲取通過其內(nèi)部傳感器(位置、位移、速度、加速度等)來完成，操作對(duì)象與外部環(huán)境的感知通過外部傳感器來實(shí)現(xiàn)，這個(gè)過程非常重要，足以為機(jī)器人控制提供反饋信息。 </p><p>　　4.2傳感器在機(jī)械制造中的應(yīng)用</p><p>　　在機(jī)

50、械制造中，傳感器技術(shù)是實(shí)現(xiàn)測(cè)試與自動(dòng)控制的重要環(huán)節(jié)。在機(jī)械制造測(cè)試系統(tǒng)中，被作為一次儀表定位，其主要特征是能準(zhǔn)確傳遞和檢測(cè)出某一形態(tài)的信息，并將其轉(zhuǎn)換成另一形態(tài)的信息。具體的說，傳感器是指那些對(duì)被測(cè)對(duì)象的某一確定的信息有感受與檢出功能，并使之按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成與之對(duì)應(yīng)的可輸出信號(hào)的元件或裝置。</p><p>　　切削過程和機(jī)床運(yùn)行過程的傳感技術(shù)：切削過程傳感檢測(cè)的目的在于優(yōu)化切削過程的生產(chǎn)率、制造成本或(金屬)

51、材料的切除率等。切削過程傳感檢測(cè)的目標(biāo)有切削過程的切削力及其變化、切削過程顫震、刀具與工件的接觸和切削時(shí)切屑的狀態(tài)及切削過程辨識(shí)等，而最重要的傳感參數(shù)有切削力、切削過程振動(dòng)、切削過程聲發(fā)射、切削過程電機(jī)的功率等。對(duì)于機(jī)床的運(yùn)行來講，主要的傳感檢測(cè)目標(biāo)有驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、軸承與回轉(zhuǎn)系統(tǒng)、溫度的監(jiān)測(cè)與控制及安全性等，其傳感參數(shù)有機(jī)床的故障停機(jī)時(shí)間、被加工件的表面粗糙度和加工精度、功率、機(jī)床狀態(tài)與冷卻潤(rùn)滑液的流量等 </p><

52、;p>　　第五章 機(jī)電一體化系統(tǒng)中傳感器的選擇</p><p>　　傳感器的應(yīng)用范圍廣，種類繁多。如何為我們機(jī)電一體化系統(tǒng)選擇合適的傳感器呢？下面我們就以數(shù)控機(jī)床為例講講機(jī)電一體化系統(tǒng)中傳感器的選擇。</p><p>　　數(shù)控機(jī)床綜合了機(jī)械、自動(dòng)化、計(jì)算機(jī)、測(cè)量、微電子等最新技術(shù)，使用了多種傳感器，由于高精度、高速度、高效率及安全可靠的特點(diǎn)，在制造業(yè)技術(shù)設(shè)備更新中，數(shù)控機(jī)床正迅速地在

53、企業(yè)得到普及。數(shù)控機(jī)床是一種裝有程序控制系統(tǒng)的自動(dòng)化機(jī)床，能夠根據(jù)已編好的程序，使機(jī)床動(dòng)作并加工零件。它綜合了機(jī)械、自動(dòng)化、計(jì)算機(jī)、測(cè)量、微電子等最新技術(shù)，使用了多種傳感器。</p><p>　　5.1 數(shù)控機(jī)床對(duì)傳感器的要求</p><p>　　(1) 可靠性高和抗干擾性強(qiáng)；</p><p>　　(2) 滿足精度和速度的要求；</p><p&g

54、t;　　(3) 使用維護(hù)方便，適合機(jī)床運(yùn)行環(huán)境；</p><p><b>　　(4) 成本低</b></p><p>　　不同種類數(shù)控機(jī)床對(duì)傳感器的要求也不盡相同，一般來說，大型機(jī)床要求速度響應(yīng)高，中型和高精度數(shù)控機(jī)床以要求精度為主。</p><p><b>　　5.2 位移的檢測(cè)</b></p><p

55、>　　位移檢測(cè)的傳感器主要有脈沖編碼器、直線光柵、旋轉(zhuǎn)變壓器、感應(yīng)同步器等。</p><p>　　(1) 脈沖編碼器的應(yīng)用</p><p>　　脈沖編碼器是一種角位移(轉(zhuǎn)速)傳感器，它能夠把機(jī)械轉(zhuǎn)角變成電脈沖。脈沖編碼器可分為光電式、接觸式和電磁式三種，其中，光電式應(yīng)用比較多。</p><p>　　(2) 直線光柵的應(yīng)用</p><p>

56、;　　直線光柵是利用光的透射和反射現(xiàn)象制作而成，常用于位移測(cè)量，分辨力較高，測(cè)量精度比光電編碼器高，適應(yīng)于動(dòng)態(tài)測(cè)量。</p><p>　　在進(jìn)給驅(qū)動(dòng)中，光柵尺固定在床身上，其產(chǎn)生的脈沖信號(hào)直接反映了拖板的實(shí)際位置。用光柵檢測(cè)工作臺(tái)位置的伺服系統(tǒng)是全閉環(huán)控制系統(tǒng)。</p><p>　　(3) 旋轉(zhuǎn)變壓器的應(yīng)用</p><p>　　旋轉(zhuǎn)變壓器是一種輸出電壓與角位移量成連

57、續(xù)函數(shù)關(guān)系的感應(yīng)式微電機(jī)。旋轉(zhuǎn)變壓器由定子和轉(zhuǎn)子組成，具體來說，它由一個(gè)鐵心、兩個(gè)定子繞組和兩個(gè)轉(zhuǎn)子繞組組成，其原、副繞組分別放置在定子、轉(zhuǎn)子上，原、副繞組之間的電磁耦合程度與轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角有關(guān)。</p><p>　　(4) 感應(yīng)同步器的應(yīng)用</p><p>　　感應(yīng)同步器是利用兩個(gè)平面形繞組的互感隨位置不同而變化的原理制成的。其功能是將角度或直線位移轉(zhuǎn)變成感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的相位或幅值，可用來測(cè)量直

58、線或轉(zhuǎn)角位移。按其結(jié)構(gòu)可分為直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種。直線式感應(yīng)同步器由定尺和滑尺兩部分組成，定尺安裝在機(jī)床床身上，滑尺安裝于移動(dòng)部件上，隨工作臺(tái)一起移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器定子為固定的圓盤，轉(zhuǎn)子為轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤。感應(yīng)同步器具有較高的精度與分辨力、抗干擾能力強(qiáng)、使用壽命長(zhǎng)、維護(hù)簡(jiǎn)單、長(zhǎng)距離位移測(cè)量、工藝性好、成本較低等優(yōu)點(diǎn)。直線式感應(yīng)同步器目前被廣泛地應(yīng)用于大位移靜態(tài)與動(dòng)態(tài)測(cè)量中，例如用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、程控?cái)?shù)控機(jī)床、高精度重型機(jī)床及加工中心測(cè)量裝置

59、等。旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器則被廣泛地用于機(jī)床和儀器的轉(zhuǎn)臺(tái)以及各種回轉(zhuǎn)伺服控制系統(tǒng)中。</p><p><b>　　5.3 位置的檢測(cè)</b></p><p>　　位置傳感器可用來檢測(cè)位置，反映某種狀態(tài)的開關(guān)，和位移傳感器不同。位置傳感器有接觸式和接近式兩種。</p><p>　　(1) 接觸式傳感器的應(yīng)用</p><p>　　

60、接觸式傳感器的觸頭由兩個(gè)物體接觸擠壓而動(dòng)作，常見的有行程開關(guān)、二維矩陣式位置傳感器等。行程開關(guān)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、動(dòng)作可靠、價(jià)格低廉。當(dāng)某個(gè)物體在運(yùn)動(dòng)過程中，碰到行程開關(guān)時(shí)，其內(nèi)部觸頭會(huì)動(dòng)作，從而完成控制，如在加工中心的X、Y、Z軸方向兩端分別裝有行程開關(guān)，則可以控制移動(dòng)范圍。二維矩陣式位置傳感器安裝于機(jī)械手掌內(nèi)側(cè)，用于檢測(cè)自身與某個(gè)物體的接觸位置。</p><p>　　(2) 接近開關(guān)的應(yīng)用</p><

61、;p>　　接近開關(guān)是指當(dāng)物體與其接近到設(shè)定距離時(shí)就可以發(fā)出“動(dòng)作”信號(hào)的開關(guān)，它無需和物體直接接觸。接近開關(guān)有很多種類，主要有自感式、差動(dòng)變壓器式、電渦流式、電容式、干簧管、霍爾式等。</p><p>　　接近開關(guān)在數(shù)控機(jī)床上的應(yīng)用主要是刀架選刀控制、工作臺(tái)行程控制、油缸及汽缸活塞行程控制等。</p><p>　　霍爾傳感器是利用霍爾現(xiàn)象制成的傳感器。將鍺等半導(dǎo)體置于磁場(chǎng)中，在一個(gè)方

62、向通以電流時(shí)，則在垂直的方向上會(huì)出現(xiàn)電位差，這就是霍爾現(xiàn)象。將小磁體固定在運(yùn)動(dòng)部件上，當(dāng)部件靠近霍爾元件時(shí)，便產(chǎn)生霍爾現(xiàn)象，從而判斷物體是否到位。</p><p><b>　　5.4 速度的檢測(cè)</b></p><p>　　速度傳感器是一種將速度轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的傳感器，既可以檢測(cè)直線速度，也可以檢測(cè)角速度，常用的有測(cè)速發(fā)電機(jī)和脈沖編碼器等。</p><

63、;p>　　測(cè)速發(fā)電機(jī)具有的特點(diǎn)是：(1)輸出電壓與轉(zhuǎn)速嚴(yán)格成線性關(guān)系；(2)輸出電壓與轉(zhuǎn)速比的斜率大。可分成交流和直流兩類。</p><p>　　脈沖編碼器在經(jīng)過一個(gè)單位角位移時(shí)，便產(chǎn)生一個(gè)脈沖，配以定時(shí)器便可檢測(cè)出角速度。</p><p>　　在數(shù)控機(jī)床中，速度傳感器一般用于數(shù)控系統(tǒng)伺服單元的速度檢測(cè)。</p><p><b>　　5.5 壓力的檢

64、測(cè)</b></p><p>　　壓力傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的傳感器。根據(jù)工作原理，可分為壓電式傳感器、壓阻式傳感器和電容式傳感器。它是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。電容式壓力傳感器的電容量是由電極面積和兩個(gè)電極間的距離決定，因靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力量程大等特點(diǎn)近來得到了迅速發(fā)展。在數(shù)控機(jī)床中，可用它對(duì)工件夾緊力進(jìn)

65、行檢測(cè)，當(dāng)夾緊力小于設(shè)定值時(shí)，會(huì)導(dǎo)致工件松動(dòng)，系統(tǒng)發(fā)出報(bào)警，停止走刀。另外，還可用壓力傳感器檢測(cè)車刀切削力的變化。再者，它還在潤(rùn)滑系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、氣壓系統(tǒng)被用來檢測(cè)油路或氣路中的壓力，當(dāng)油路或氣路中的壓力低于設(shè)定值時(shí)，其觸點(diǎn)會(huì)動(dòng)作，將故障信號(hào)送給數(shù)控系統(tǒng)。</p><p><b>　　5.6 溫度的檢測(cè)</b></p><p>　　溫度傳感器是一種將溫度高低轉(zhuǎn)變成電阻

66、值大小或其它電信號(hào)的一種裝置。常見的有以鉑、銅為主的熱電阻傳感器、以半導(dǎo)體材料為主的熱敏電阻傳感器和熱電偶傳感器等。在數(shù)控機(jī)床上，溫度傳感器用來檢測(cè)溫度從而進(jìn)行溫度補(bǔ)償或過熱保護(hù)。</p><p>　　在加工過程中，電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)、移動(dòng)部件的移動(dòng)、切削等都會(huì)產(chǎn)生熱量，且溫度分布不均勻，造成溫差，使數(shù)控機(jī)床產(chǎn)生熱變形，影響零件加工精度，為了避免溫度產(chǎn)生的影響，可在數(shù)控機(jī)床上某些部位裝設(shè)溫度傳感器，感受溫度信號(hào)并轉(zhuǎn)換成

67、電信號(hào)送給數(shù)控系統(tǒng)，進(jìn)行溫度補(bǔ)償。</p><p>　　此外，在電動(dòng)機(jī)等需要過熱保護(hù)的地方，應(yīng)埋設(shè)溫度傳感器，過熱時(shí)通過數(shù)控系統(tǒng)進(jìn)行過熱報(bào)警。</p><p>　　5.7 刀具磨損的監(jiān)控</p><p>　　刀具磨損到一定程度會(huì)影響到工件的尺寸精度和表面粗糙度，因此，對(duì)刀具磨損要進(jìn)行監(jiān)控。當(dāng)?shù)毒吣p時(shí)，機(jī)床主軸電動(dòng)機(jī)負(fù)荷增大，電動(dòng)機(jī)的電流和電壓也會(huì)變化，功率隨之改變

68、，功率變化可通過霍爾傳感器檢測(cè)。功率變化到一定程度，數(shù)控系統(tǒng)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，機(jī)車停止運(yùn)轉(zhuǎn)，此時(shí)，應(yīng)及時(shí)進(jìn)行刀具調(diào)整或更換。</p><p>　　以上介紹的傳感器在數(shù)控機(jī)床上的應(yīng)用是目前的狀況，但隨著傳感器和數(shù)控機(jī)床的發(fā)展，有些傳感器將被淘汰，如旋轉(zhuǎn)變壓器等，而新的傳感器將不斷出現(xiàn)，會(huì)使數(shù)控機(jī)床更加完善，自適應(yīng)更強(qiáng)。</p><p>　　第六章 傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)</p>&l

69、t;p>　　傳感器技術(shù)是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制、自動(dòng)調(diào)節(jié)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，也是機(jī)電一體化系統(tǒng)不可缺少的關(guān)鍵技術(shù)之一，其水平的高低，在很大程度上影響和決定著系統(tǒng)的功能；其水平越高，系統(tǒng)的自動(dòng)化程度就越高。在一套完整的機(jī)電一體化系統(tǒng)中，如果不能利用傳感檢測(cè)技術(shù)對(duì)被控對(duì)象的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行及時(shí)準(zhǔn)確地檢測(cè)并轉(zhuǎn)換成易于傳送和處理的信號(hào)，我們所需要的用于系統(tǒng)控制的信息就無法獲得，進(jìn)而使整個(gè)系統(tǒng)就無法正常有效的工作。</p><p>　　雖

70、然我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀還不能適應(yīng)國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的需要，產(chǎn)品技術(shù)水平與國(guó)外相比還有較大差距，但是從統(tǒng)一市場(chǎng)的觀點(diǎn)看，我國(guó)具有傳感器的廣闊市場(chǎng)，所以我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的前途還是光明的。因此，必須加強(qiáng)技術(shù)研究和引進(jìn)先進(jìn)設(shè)備，以提高整體水平。傳感器技術(shù)今后的發(fā)展趨勢(shì)，主要表現(xiàn)在以下方面：</p><p>　　(1) 新材料開發(fā)。傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ), 是傳感器技術(shù)升級(jí)的重要支撐。隨著材料科學(xué)的進(jìn)步,傳感器技術(shù)日

71、臻成熟,其種類越來越多,除了早期使用的半導(dǎo)體材料、陶瓷材料以外,光導(dǎo)纖維以及超導(dǎo)材料的開發(fā),為傳感器的發(fā)展提供了物質(zhì)基礎(chǔ)。例如,根據(jù)以硅為基體的許多半導(dǎo)體材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化,以及半導(dǎo)體光熱探測(cè)器具有靈敏度高、精度高、非接觸性等特點(diǎn),發(fā)展紅外傳感器、激光傳感器、光纖傳感器等現(xiàn)代傳感器;在敏感材料中,陶瓷材料、有機(jī)材料發(fā)展很快,可采用不同的配方混合原料,在精密調(diào)配化學(xué)成分的基礎(chǔ)上,經(jīng)過高精度成型燒結(jié),得到對(duì)某一種或某幾

72、種氣體具有識(shí)別功能的敏感材料,用于制成新型氣體傳感器。此外,高分子有機(jī)敏感材料,是近幾年人們極為關(guān)注的具有應(yīng)用潛力的新型敏感材料,可制成熱敏、光敏、氣敏、濕敏、力敏、離子敏和生物敏等傳感器。傳感器技術(shù)的不斷發(fā)展,也促進(jìn)了更新型材料的開發(fā),如納米材料等。美國(guó)NRC公司已開發(fā)出納米ZrO2 氣體傳感器,控制機(jī)動(dòng)車輛尾氣的排放,對(duì)凈化環(huán)境效果很好,應(yīng)用前景比較廣闊。由于采用納米材料制作的傳感器,具有龐大的界面,能提供大量的氣體通道,而且導(dǎo)通電

73、阻很</p><p>　　(2) 應(yīng)用新技術(shù)和新的物理效應(yīng)，擴(kuò)大檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用。檢測(cè)原理大多以各種物理效應(yīng)為基礎(chǔ)。近代物理學(xué)的發(fā)展，對(duì)仿生學(xué)的研究、仿造生物的感覺功能的新型傳感器的開發(fā)應(yīng)用，使得傳感器技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域更廣闊。如今的檢測(cè)領(lǐng)域，正向著社會(huì)需要各方面擴(kuò)展，不僅用于工業(yè)部門，而且也涉及到工程、海洋開發(fā)、宇宙航行等尖端科學(xué)技術(shù)和新興工業(yè)領(lǐng)域，生物、醫(yī)療、環(huán)境污染監(jiān)測(cè)、危險(xiǎn)品和毒品的偵察、安全監(jiān)測(cè)方面，同時(shí)也滲

74、透到人類的日常生活當(dāng)中。</p><p>　　(3) 向高精度發(fā)展，研制出靈敏度高、精確度高、響應(yīng)速度快、互換性好的新型傳感器，以確保生產(chǎn)自動(dòng)化的可靠性。近年來，隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，要求靈敏度、精確度和穩(wěn)定性等盡可能的高。例如超精度的在線檢測(cè)，要求＜ 0.1 μm。對(duì)傳感器可靠性故障率的數(shù)學(xué)模型和計(jì)算方法的研究，大大提高檢測(cè)系統(tǒng)的可靠性。為了使自動(dòng)檢測(cè)裝置適應(yīng)在各種復(fù)雜條件下可靠工作，要求研制的檢測(cè)系統(tǒng)，具有

75、較高的抗干擾能力和適應(yīng)生產(chǎn)要求的較長(zhǎng)的使用壽命。</p><p>　　(4) 發(fā)展小型化、集成化、多功能化、多維化、智能化和高性能、擴(kuò)大量程范圍的檢測(cè)裝置。隨著半導(dǎo)體材料的研究和新工藝的進(jìn)展，已研制出一批新型半導(dǎo)體傳感器；光刻、擴(kuò)散及各向異性腐蝕等集成電路新工藝，也已滲透到傳感器的制造過程中，從而使檢測(cè)系統(tǒng)更趨于小型化、集成化、多功能化、多維化及性能更強(qiáng)。</p><p>　　(5) 向智

76、能化數(shù)字化發(fā)展。隨著現(xiàn)代化的發(fā)展，傳感器的功能已突破傳統(tǒng)的功能，其輸出不再是一個(gè)單一的模擬信號(hào)(如0～10 mV)，而是經(jīng)過微電腦處理好后的數(shù)字信號(hào)，有的甚至帶有控制功能，即智能傳感器。</p><p><b>　　結(jié)束語</b></p><p>　　四年的讀書生活在這個(gè)季節(jié)即將劃上一個(gè)句號(hào)，而于我的人生卻只是一個(gè)逗號(hào)，我將面對(duì)又一次征程的開始。四年的求學(xué)生涯在師長(zhǎng)、

77、親友的大力支持下，走得辛苦卻也收獲滿囊，在論文即將付梓之際，思緒萬千，心情久久不能平靜。 偉人、名人為我所崇拜，可是我更急切地要把我的敬意和贊美獻(xiàn)給一位平凡的人，我的導(dǎo)師。我不是您最出色的學(xué)生，而您卻是我最尊敬的老師。您治學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)，學(xué)識(shí)淵博，思想深邃，視野雄闊，為我營(yíng)造了一種良好的精神氛圍。授人以魚不如授人以漁，置身其間，耳濡目染，潛移默化，使我不僅接受了全新的思想觀念，樹立了宏偉的學(xué)術(shù)目標(biāo)，領(lǐng)會(huì)了基本的思考方式，從論文題目的選定到論文寫

78、作的指導(dǎo)，經(jīng)由您悉心的點(diǎn)撥，再經(jīng)思考后的領(lǐng)悟，常常讓我有“山重水復(fù)疑無路，柳暗花明又一村”。 </p><p>　　感謝我的爸媽，焉得諼草，言樹之背，養(yǎng)育之恩，無以回報(bào)，你們永遠(yuǎn)健康快樂是我最大的心愿。在論文即將完成之際，我的心情無法平靜，從開始進(jìn)入課題到論文的順利完成，有多少可敬的師長(zhǎng)、同學(xué)、朋友給了我無言的幫助，在這里請(qǐng)接受我誠(chéng)摯謝意！ </p><p>　　同時(shí)也感謝學(xué)院為我提供良好