以提高設備效率為目標的預防性維護優(yōu)化.pdf

1、設備維護作為延長設備壽命、降低生產成本和提高生產能力的有效途徑之一，倍受關注。一方面，不合理的維護所致的維修不足或維修過剩將給企業(yè)帶來嚴重的經(jīng)濟損失。另一方面，半導體設備及制造系統(tǒng)日趨復雜化為維護計劃的制定引入了更多的復雜因素，增加了其難度與挑戰(zhàn)。但也正是這樣，使得對此類設備的預防性維護計劃的研究顯得更為迫切與必要。 本論文正是針對上述問題，以半導體封裝測試瓶頸設備為主要的研究對象，以設備效率為決策原則進行維護計劃優(yōu)化研究。在深

2、入剖析全局設備效率的組成及其與設備損失的關系基礎上，運用時間延遲理論對設備的預防性維護計劃問題作了探索性的研究。主要內容包括： 1．對半導體全局設備效率進行全面詳盡的剖析，解析其具體組成與其對應的設備損失來源，并通過嚴密的數(shù)學推導確立了以降低設備效率主要損失來源之一的非計劃故障時間及優(yōu)化預防性維護計劃為技術路線的、要求單位時間的總停機時間最少的維護策略。 2．以故障停機時間為目標函數(shù)，以設備損失主要因素之設備故障時間及設

3、備預防性維護為研究對象，引入時間延遲維護優(yōu)化模型，在模型參數(shù)估計的基礎之上，突破當前普遍的對于時間延遲維修模型的一般應用方法，創(chuàng)新性的通過模型靈敏度分析將全員維護的主動維護思想納入最優(yōu)維護計劃的制定中，提出了改進的時間延遲維修模型應用方法。通過靈敏度分析實現(xiàn)對模型穩(wěn)定性的評估和對各因變參數(shù)敏感度的識別，并在此基礎上確立了具體的預防性維護優(yōu)化策略。 3．通過實現(xiàn)基于故障預測的視情維護對優(yōu)化模型目標函數(shù)的最敏感參數(shù)進行積極控制，以作

4、用于目標函數(shù)的是優(yōu)與最佳預防性維護周期的制定。采用基于數(shù)據(jù)的故障預測技術，以設備各狀態(tài)時間的記錄為數(shù)據(jù)源，引入基于R/S分析法的Hurst指數(shù)，建立故障預測建模，通過對設備主要故障模式的預測實現(xiàn)了以控制設備停機時間為目的的視情維護。 4．在以主客觀統(tǒng)計方法對預防性維護相關參數(shù)的再評估基礎之上，通過求解模型最優(yōu)解確定目標函數(shù)次敏感參數(shù)維護周期的最佳值。并且對當前維護計劃，基于一般時間延遲模型應用方法的結果和本文提出的改進時間延遲模