通過降低測試時間提高天津mst測試機臺的產(chǎn)能

1、<p>　　通過降低測試時間提高天津MST測試機臺的產(chǎn)能</p><p>　　摘 要：出于總公司降低成本的全局考慮，將晶圓測試工藝從國外全部轉(zhuǎn)移到中國。但是通過數(shù)據(jù)分析發(fā)現(xiàn)，MST測試平臺的測試時間要遠大于國外的測試時間，使得MST測試機產(chǎn)能大幅度降低。通過實驗分析發(fā)現(xiàn)，測試軟件版本的差異是主要的問題。最終通過測試軟件版本的升級有效降低了測試時間，從而到達了增加天津MST測試機產(chǎn)能目的，最終實現(xiàn)了成本的

2、降低。 </p><p>　　關(guān)鍵字：MST；測試時間；操作系統(tǒng)；integrator；探針臺 </p><p>　　1.晶圓測試基本參數(shù)概述 </p><p>　　晶圓測試wafer probe在半導(dǎo)體制程上，主要可分為IC設(shè)計、晶圓制程（wafer Fabrication，簡稱 wafer fab）、晶圓測試（wafer probe）、及晶圓封裝（packagi

3、ng）和最終測試（final test）。晶圓測試是對芯片上的每個晶粒進行探針測試，在檢測頭裝上以金線制成細如毛發(fā)之探針（probe），晶粒上的接點（pad）接觸，測試其電氣特性，不合格的晶粒會被標上記號，而后當芯片晶粒為單位切割成獨立的晶粒時，標有幾號的不合格晶粒會被淘汰，不再進行下一個制程，以免徒增成本。 </p><p><b>　　2.背景介紹 </b></p><

4、;p>　　由于近年來半導(dǎo)體行業(yè)業(yè)績的下滑，為了提高收益，降低成本是其中一個有效的措施。公司考慮到中國勞動力和資源的廉價，決定將全球晶圓測試項目轉(zhuǎn)移到中國的天津封裝測試工廠。而MST作為混合信號測試機的主要平臺，主要測試的產(chǎn)品為法國圖盧茲晶圓廠的汽車電子產(chǎn)品，其產(chǎn)品的主要特點是單位測試時間短，測試穩(wěn)定，每片晶圓的晶粒多。將原有的法國工廠晶圓測試部門的MST測試機臺轉(zhuǎn)移給天津晶圓測試部門。 </p><p>　

5、　在MST（混合信號測試機）的測試頭裝上測試板和探針卡，然后探針卡的針與晶粒上的接點（pad）通過探針臺（prober）的移動使之接觸，測試機操作系統(tǒng)按照測試程序的設(shè)定提供電信號，從而完成晶粒的電氣特性的測試，而對于天津相比法國的測試多了integrator軟件系統(tǒng)。integrator作為測試機與探針臺通信的中間媒介給測試機與探針臺驅(qū)動信號，然后電測結(jié)果存成電子晶圓圖，不合格的晶粒會被標記上失效。 </p><p&

6、gt;<b>　　3.實驗?zāi)Ｐ瓦x取 </b></p><p>　　在進行產(chǎn)品轉(zhuǎn)移的過程中，通過數(shù)據(jù)分析，發(fā)現(xiàn)天津測試的產(chǎn)品，測試時間比法國要長很多，尤其是對于本身測試時間就短的晶粒，測試時間延長的更為顯著。于是我們選取單位晶圓數(shù)相對較多的L59C產(chǎn)品作為觀測模型進行研究。 </p><p><b>　　4. 數(shù)據(jù)分析 </b></p>

7、<p>　　我們通過不同地域以及不同操作系統(tǒng)版本的數(shù)據(jù)分析得出測試時間的主要差異來源于探測臺移動的單位時間以及其他時間。探測臺移動的單位時間主要是來源于不同型號的探測臺以及探測臺參數(shù)的設(shè)定。其他時間主要是由于操作系統(tǒng)版本、數(shù)據(jù)處理以及使用integrator的差異。 </p><p>　　不同操作系統(tǒng)版本的差異為天津與法國測試的其他時間差異主要來源。但是1.18.2版本在天津配合integrator

8、使用無法產(chǎn)生我們需要的stdf進行數(shù)據(jù)分析。 </p><p>　　5.結(jié)論及改善方案 </p><p>　　通過模型選取與分析，我們得出結(jié)論探測臺的移動速度和測試操作系統(tǒng)是造成天津晶圓測試時間長于法國晶圓測試時間的主要原因，所以我們就這兩個方向進行改善。 </p><p>　　5.1探測臺移動速度 </p><p>　　我們針對探測臺X，Y

9、，Z三個方向的移動速度進行調(diào)節(jié)，從原來的5改到7，從而使得探測臺的移動時間減少到0.35s。 </p><p>　　5.2 測試操作系統(tǒng) </p><p>　?。?）1.18.2版本在天津配合integrator使用無法產(chǎn)生我們需要的stdf文件，這樣就無法進行物料數(shù)據(jù)分析，所以我們不能像法國一樣使用同樣的測試系統(tǒng)版本。 </p><p>　?。?）系統(tǒng)工程師聯(lián)系M

10、ST的供應(yīng)商，對于MST的測試版本進行不斷升級，最終我們將系統(tǒng)升級到現(xiàn)在的2.1.7 p22，使得其他時間差異減小到0.01s，從而達到我們預(yù)期的目的。 </p><p><b>　　參考文獻 </b></p><p>　　[1]（美國）贊特（PeterVanZant）譯者：韓鄭生趙樹武 《芯片制造》電子工業(yè)出版社； 第1版 （2010年8月1日） </p>