拉晶工藝標準

1、內(nèi)蒙山晟新能源（漢虹托管）內(nèi)蒙山晟新能源（漢虹托管）拉晶工藝標準拉晶工藝標準受控狀態(tài)實施日期適用實施責(zé)任者注：本文件更改，由建議者提出申請，經(jīng)批準后方可變更。作成審核批準承認文件編號版次總11頁SSQW51CZ7500117A0第1頁一.目的目的將硅多晶或者硅單晶轉(zhuǎn)變成客戶需要的硅單晶。二適用范圍二適用范圍上海漢虹精密機械有限公司生產(chǎn)的FTCZ1806型單晶爐以及FTCZ2008型單晶爐。二.使用設(shè)備及工具使用設(shè)備及工具FTCZ1806

2、型單晶爐或者FTCZ2008型單晶爐、空氣壓縮機、真空泵（主輔）、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、氬氣輸送系統(tǒng)、氬氣中含氧量監(jiān)測儀斜口鉗、螺絲刀、不銹鋼托盤、不銹鋼推車、硅單晶專用取棒車、美工刀等三.材料材料多晶硅、可回收利用的硅材料、摻雜劑、5個9的高純Ar、可循環(huán)的軟化冷卻水、高純石墨熱場一次性手套、防靜電手套、乳膠手套、隔熱手套、塑料袖套、一次性口罩無塵紙、乙醇四.環(huán)境要求環(huán)境要求潔凈房五.重要工藝參數(shù)重要工藝參數(shù)見《工藝參數(shù)卡》六.FTCZ18

3、06以及以及FTCZ2008型單晶爐面板介紹型單晶爐面板介紹圖1《手動狀態(tài)操作畫面》籽晶控制漏氣檢查氬氣控制加熱器控制坩堝控制手動菜單爐臺狀態(tài)參數(shù)顯示控制狀態(tài)顯示籽晶狀態(tài)顯示坩堝狀態(tài)顯示壓力控制控制按鈕內(nèi)蒙山晟新能源（漢虹托管）內(nèi)蒙山晟新能源（漢虹托管）拉晶工藝標準拉晶工藝標準受控狀態(tài)實施日期適用實施責(zé)任者注：本文件更改，由建議者提出申請，經(jīng)批準后方可變更。作成審核批準承認文件編號版次總11頁SSQW51CZ7500117A0第3頁1檢

4、查石英坩堝2裝入石英坩堝3調(diào)整石英坩堝放置的水平3.摻雜劑的裝入摻雜劑的裝入3.1.確認摻雜劑料包上所寫的重量與拉晶指示書上的數(shù)據(jù)是否一致。3.2.帶上一次性的手套，將裝有摻雜劑的料包在石英坩堝的上方且低于石英坩堝口的位置打開，并抖動裝料紙使摻雜劑全部落入石英坩堝中。1摻雜劑的裝入4.硅材料的料裝入硅材料的料裝入4.1.先戴好口罩，確認帽子塞入衣服領(lǐng)子內(nèi)，頭發(fā)沒有露在帽子外面，衣服拉鏈全部拉到位；一手戴2層一次性手套，拎材料袋，另一只手

5、戴上塑料袖套、防靜電手套，再戴上3層一次性手套，進行裝料作業(yè)。4.1.1.裝料前，盡量留出5～10kg拳頭大的多晶最后裝4.1.2.底部堆放時材料以盡量大的面積與坩堝接觸，約過34后以點接觸為佳4.1.3.在距石英坩堝口10cm以下裝料時，要注意裝料密度，裝料密度太小，可能造成多晶裝不完或是堆在石英坩堝上太高，化料時容易造成多晶滑出石英坩堝，釀成事故；而裝料密度太大，特別是有大塊頭尾料時，化料時可能把坩堝脹裂或是架橋。4.1.4.在裝料

6、時，多晶之間不能有太多的的間隙，應(yīng)該根據(jù)多晶的形狀，輕輕地擺放緊湊，但決不能不能把多晶壓得過緊，要讓多晶有一定的滑動性4.1.5.整塊頭尾料要裝在離坩堝底5～10cm處，整塊頭尾料之間以及整塊頭尾料與石英坩堝之間要有至少5mm的間隙4.1.6.在距石英坩堝口10cm處以上，裝料應(yīng)特別注意，應(yīng)裝拳頭大小的料為佳，裝料高出石英坩堝口時，不要再裝細碎料，應(yīng)該特別注意減小多晶的滑動性，防止多晶滑出坩堝外）※作業(yè)時，必須穿戴規(guī)定的勞防用品，為了防