titin多層膜crcrn多層膜電弧離子鍍調制周期腐蝕性能耐磨性論文_第1頁
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文檔簡介

1、電弧離子鍍多層膜的工藝及性能研究【摘要】為了研究多層膜的力學性能和腐蝕性能促進多層膜在生產(chǎn)中的應用本文采用電弧離子鍍技術通過周期性變換環(huán)境中N2和Ar氣沉積時間成功地在銅合金和不銹鋼上獲得不同調制周期的TiTiN和CrCrN多層膜并對多層膜的結構和性能進行研究。結果表明：周期性的變換生長環(huán)境中的N2和Ar氣的通入時間可以獲得界面清晰的TiTiN和CrCrN多層膜。TiTiN沉積膜中含有面心立方結構的TiN相和六方結構的金屬Ti相TiN相

2、具有明顯(111)晶面的擇優(yōu)取向；CrCrN沉積膜主要由Gr、CrN兩相組成也有部分Cr2N相CrN(220)方向的擇優(yōu)取向較為明顯。隨調制周期增加TiTiN多層膜硬度先提高后降低在調制周期為550nm時具有最高的硬度2069HV；而CrCrN多層膜硬度隨調制周期的增加而提高在調制周期為1380nm時具有最高硬度3156HV在相同調制周期時CrCrN多層膜的硬度顯著高于TiTiN多層膜的硬度。TiTiN和CrCrN多層膜與襯底的結合強度

3、都隨調制周期的增加先提高到達最大值后下降它們最大結合強度對應調制周期分別為480nm和650nm。TiT...更多還原【Abstract】IndertostudythemechanicalpropertiescrosivepropertiesofmultilayerfilmspromotetheapplicationofmultilayerfilmsinindrustryTiTiNmultilayerfilmsonCualloyCrCr

4、Nmultilayerfilmson1.4課題研究的目的和意義1920第二章實驗材料與實驗過程20262.1實驗材料202.2多層膜樣品的制備20222.2.1鍍膜設備20222.2.2多層膜的制備222.3多層膜的顯微結構222.3.1膜層的表面及斷面形貌222.3.2膜層的XRD譜222.4多層膜的性能檢測22262.4.1硬度測試22232.4.2結合強度23242.4.3腐蝕性能24252.4.4斷裂韌性252.4.5摩擦系數(shù)2

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