光電檢測51111

1、1光電檢測技術(shù)是用光學(xué)，電子學(xué)原理和相關(guān)知識(shí)測量和檢驗(yàn)光學(xué)和非光學(xué)量的技術(shù)2對(duì)準(zhǔn)：又稱橫向?qū)?zhǔn)，是指一個(gè)目標(biāo)與比較標(biāo)志在垂直瞄準(zhǔn)方向的重合或置中。調(diào)焦：縱向?qū)?zhǔn)，一個(gè)目標(biāo)與比較標(biāo)志在瞄準(zhǔn)軸方向重合。調(diào)焦的主要目的是使物體成像清晰，確定物面或它的共軛像面位置。3光電對(duì)準(zhǔn)可分為光電顯微鏡和光電望遠(yuǎn)鏡兩大類，兩類儀器對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的不確定度可達(dá)0.010.02μm和0.05″0.1″。光電對(duì)準(zhǔn)按工作原理分光度式和相位式兩種。4星點(diǎn)檢驗(yàn)基礎(chǔ)：利用滿足線

2、性和空間不變性條件的系統(tǒng)的線性疊加特性，可以將任何物方圖樣分解為許多基元圖樣，基元對(duì)應(yīng)的像方圖樣容易知道，然后經(jīng)過線性疊加得出總圖樣，從而當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)非相干照明物體或自然發(fā)光物體成像時(shí)，可以把任意的物分布看成無數(shù)個(gè)具有不同強(qiáng)度，獨(dú)立的發(fā)光點(diǎn)的集合。發(fā)光點(diǎn)就是星點(diǎn)。5星點(diǎn)檢驗(yàn)法：通過考察一個(gè)點(diǎn)光源經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)后在像面前，后不同截面上所成衍射像的光強(qiáng)分布，就可以定性的平評(píng)定光學(xué)系統(tǒng)自身的像差和缺陷的影響，定性的評(píng)價(jià)光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量。當(dāng)光孔是

3、圓孔則星點(diǎn)像是夫朗和斐型圓孔衍射。6星點(diǎn)檢測，衍射圖案的變形和在各衍射環(huán)之間光能量分布與理想情況下的差異能很靈敏的反映出光學(xué)系統(tǒng)或光學(xué)零件的缺陷。且在星點(diǎn)經(jīng)過理想光學(xué)系統(tǒng)所形成的衍射像中，像平面附近前后距離相同的平面上所看到的衍射圖案形狀也是相同的，也就是理想星點(diǎn)像在像面前后有對(duì)稱的光強(qiáng)分布，實(shí)際中，由于很小的像差或缺陷很容易破壞這種對(duì)稱，所以在檢測中要通過觀察實(shí)際像面前后衍射圖案的情況，進(jìn)一步發(fā)下缺陷。7測量分辨率所獲得的有關(guān)被測系統(tǒng)

4、像質(zhì)的信息量雖然不及星點(diǎn)檢測多，發(fā)現(xiàn)像差和誤差的靈敏度也不如星點(diǎn)檢驗(yàn)高，但分辨率能以確定的數(shù)值作為評(píng)價(jià)被測系統(tǒng)的像質(zhì)的綜合性指標(biāo)，并且不需要具有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)就能得到值！8激光多普勒測速技術(shù)具有很高的空間和時(shí)間分辨率，具有非接觸測量，不干擾測量對(duì)象，測量儀器可以遠(yuǎn)離被測目標(biāo)，在研究邊界層，湍流，兩相對(duì)流等特殊場合具有很大的技術(shù)優(yōu)勢。9激光進(jìn)行遠(yuǎn)距離的測量分為激光相位測距和脈沖激光測距。10激光干涉測試是以光波干涉原理為基礎(chǔ)。其測試靈敏度

5、和準(zhǔn)確度高，大多數(shù)都是非接觸是，不會(huì)對(duì)被測器件表面損傷和附加誤差。由于現(xiàn)代激光器發(fā)展期量程范圍擴(kuò)大，在精密測量，精密加工和實(shí)時(shí)測控中獲得廣泛應(yīng)用，按光波分光，激光干涉儀可分為分振幅式和分波陣面。按相干光束傳播路徑分為共程干涉和非共程干涉，按用途分為，靜態(tài)干涉和動(dòng)態(tài)干涉。利用干涉圖的接收和數(shù)據(jù)處理技術(shù)，計(jì)算出擴(kuò)散函數(shù)，中心點(diǎn)亮度，光學(xué)傳遞函數(shù)等綜合光學(xué)像質(zhì)評(píng)價(jià)指標(biāo)。11在普通干涉之中，由于參考光束和測量光束沿著分開的光路進(jìn)行，其受到機(jī)械振

6、蕩和溫度起伏影響不同，干涉條紋不穩(wěn)定所以不能進(jìn)行精確測量的干涉儀為非共程干涉儀，反之為共程。12共程干涉儀特點(diǎn)：抗環(huán)境干擾，通常不需要尺寸等于或大于被測光學(xué)系統(tǒng)口徑的光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)件，在視場中心的光束光程差為零，因而可以用白光光源。13共程干涉可分為兩類1使參考光束只通過被檢測光學(xué)系統(tǒng)的小部分區(qū)域，因而不受系統(tǒng)相差的影響，當(dāng)此參考光束和經(jīng)過該光學(xué)系統(tǒng)全孔徑的檢驗(yàn)光束相干時(shí)，就可以直觀的獲得缺陷信息，像點(diǎn)衍射干涉儀2大多干涉儀中參考光束和測試光

7、束都受到像差的影響，干涉是由一支光束相對(duì)于另一只光束錯(cuò)位產(chǎn)生的，這時(shí)得到的信息不是直觀的，需要計(jì)算機(jī)處理，像剪切干涉儀。14光學(xué)干涉儀測試技術(shù)最初在光學(xué)零件和光學(xué)系統(tǒng)的檢驗(yàn)中獲得廣泛應(yīng)用，廣泛應(yīng)用的激光斐索型干涉測試技術(shù)，在光學(xué)零件的面型，平行度，曲率半徑等的測量中其與在光學(xué)車間廣泛應(yīng)用的牛頓型干涉測量法相比屬于非接觸式。接觸式存在以下問題1標(biāo)準(zhǔn)樣板與被30莫爾形貌（等高線）測試是莫爾技術(shù)最重要的應(yīng)用領(lǐng)域之一，表面輪廓的莫爾測定法是通過